检测项目
1. 位移精度：测量范围±5mm，分辨率0.1μm
2. 重复性误差：≤±0.5% FS（满量程）
3. 线性度偏差：≤±0.3% RO（输出值）
4. 温度漂移：-20℃~80℃范围内位移波动≤0.02μm/℃
5. 动态响应频率：0-500Hz正弦波信号跟踪能力
检测范围
1. 金属合金结构件（如钛合金航空部件）
2. 高分子复合材料层压板
3. 陶瓷基电子封装基板
4. MEMS微机电系统传感器
5. 柔性电路板动态形变
检测方法
1. ASTM E2309-05(2020) 非接触式激光位移测量标准
2. ISO 9513:2022 金属材料引伸计校准规范
3. GB/T 34104-2017 复合材料层间剪切位移测试方法
4. ISO 16063-21:2003 振动与冲击传感器校准
5. GB/T 16825.1-2018 静力单轴试验机检定规程
检测设备
1. Keyence LK-G5000激光位移传感器：分辨率0.01μm
2. Mitutoyo LH-600高精度测长仪：量程±10mm
3. Polytec PSV-500扫描式激光多普勒测振仪
4. Instron E10000电子万能试验机（配Video Extensometer）
5. ZEISS O-INSPECT 543三坐标测量机
6. Bruel&Kjaer 4524-B-001微型加速度计阵列
7. MTS Criterion®43力学测试系统
8. OLYMPUS LEXT OLS5000激光共聚焦显微镜
9. Agilent 34972A数据采集系统（支持32通道同步）
10. SCHENCK V8型液压伺服振动台