检测项目

1. 表面粗糙度：Ra≤0.8nm（RMS），Sa≤1.2nm（三维参数）

2. 曲率半径偏差：ΔR/R≤0.05%（R＞100mm）

3. 面形精度：PV值≤λ/20（@632.8nm）

4. 厚度均匀性：ΔT≤±0.5μm（Φ50mm区域）

5. 光学均匀性：Δn≤±2×10⁻⁶（折射率梯度）

检测范围

1. 高折射率光学玻璃（H-LAK系列、H-ZF类）

2. 红外晶体材料（ZnSe、Ge、Si单晶）

3. 非球面光学塑料（PMMA、PC模压件）

4. 多层光学薄膜组件（AR/IR截止膜系）

5. 微结构光学元件（衍射光栅、菲涅尔透镜）

检测方法

1. ASTM E903-12透射波前法测定面形误差

2. ISO 10110-5:2015光学元件气泡及杂质评定

3. GB/T 1185-2007表面缺陷划痕麻点分级

4. ISO 14997:2012应力双折射测试规程

5. GB/T 7661-2009光学零件镀膜层耐磨性试验

检测设备

1. Zygo Verifire MST干涉仪：波长632.8nm，PV重复性0.3nm

2. Bruker ContourGT-X3轮廓仪：垂直分辨率0.1nm

3. Trioptics OptiCentric®偏心仪：角度精度±0.5″

4. Mitutoyo CMM-Crysta Apex S坐标机：空间精度(1.9+L/250)μm

5. Shimadzu AIM-9000红外显微镜：15×~1500×连续变倍

6. Olympus LEXT OLS5000激光共聚焦：横向分辨率120nm

7. Agilent Cary 7000分光光度计：波长范围175-3300nm

8. Newport AutoAlign旋转平台：角度定位精度±0.001°

9. Thorlabs PAX1000偏振分析仪：消光比测量至60dB

10. Keyence VHX-7000数字显微镜：景深合成分辨率0.1μm