检测项目

1. 频率响应范围：20Hz-100kHz (±0.5dB)

2. 线性度误差：≤±0.3%FS（满量程）

3. 信噪比阈值：≥85dB@1kHz

4. 温度漂移系数：±5ppm/℃

5. 相位一致性：±1°@10kHz

6. 动态范围：120dB（A计权）

7. 横向灵敏度比：≤3%

检测范围

1. MEMS加速度计：硅基微机电系统传感器

2. 压电陶瓷换能器：PZT-5H型压电材料

3. 光纤布拉格光栅：波长位移灵敏度0.1pm/με

4. 金属应变片：康铜箔式应变计（栅长2mm）

5. 电容式麦克风：驻极体极化电压200V

6. 磁致伸缩传感器：Terfenol-D合金材料

检测方法

1. ASTM E2309-05(2020)：压电材料阻抗特性测试

2. ISO 16063-21:2022：振动传感器激光干涉法校准

3. GB/T 13823.3-2019：振动与冲击传感器互易法校准

4. IEC 61094-5:2016：测量传声器压力场灵敏度测定

5. JJG 233-2008：压电加速度计检定规程

6. ISO 5347-8:2020：应变计横向灵敏度测试方法

检测设备

1. 动态信号分析仪：Keysight 35670A（0.001Hz-102.4kHz）

2. 激光干涉仪：Polytec OFV-5000（位移分辨率0.1nm）

3. 精密振动台：B&K LDS V964（最大加速度100g）

4. 恒温恒湿箱：ESPEC SH-261（温控±0.1℃）

5. 六维力传感器：ATI Gamma SI-130-10（量程130N）

6. 声学耦合腔：B&K 4220（频率范围20Hz-20kHz）

7. 数字电桥：HIOKI IM3536（LCR测量精度0.05%）

8. 三坐标测量机：Hexagon Global Classic（空间精度1.2μm）

9. 频谱分析仪：Rohde & Schwarz FSW67（分析带宽500MHz）

10. 静电激励器：B&K 4810（最大静电力50N）