检测项目

1. 表面粗糙度（Ra值）：0.1-1.0 nm精度范围

2. 材料去除率（MRR）：±5%测量误差控制

3. 表面波纹度（Wt）：≤10 nm/20mm扫描长度

4. 微观划痕密度：≥100nm深度的缺陷统计

5. 膜厚均匀性：300mm晶圆内≤3%厚度偏差

检测范围

1. 半导体晶圆（硅、碳化硅、氮化镓）

2. 光学玻璃基板（石英、BK7）

3. 金属基板（铜、铝、钨合金）

4. 陶瓷基片（氧化铝、氮化铝）

5. 聚合物薄膜（PI、PMMA）

检测方法

ASTM E112-13晶粒尺寸测定法

ISO 4287:1997表面粗糙度测量规范

GB/T 29505-2013硅片表面质量测试

ASTM F2450-18薄膜厚度测量标准

ISO 25178-2:2022三维表面形貌分析

检测设备

1. Bruker ContourGT-X8白光干涉仪：三维形貌重建

2. KLA Surfscan SP3无图形晶圆缺陷检测系统

3. Zygo NewView9000激光干涉测量仪

4. Hitachi SU5000场发射扫描电镜：纳米级缺陷分析

5. Olympus LEXT OLS5000激光共聚焦显微镜

6. Agilent 5500原子力显微镜：亚埃级分辨率

7. Thermo Scientific ARL EQUINOX 3000 X射线衍射仪

8. Horiba LabRAM HR Evolution拉曼光谱仪

9. Veeco DektakXT轮廓仪：台阶高度测量

10. Nikon MM-400测量显微镜：宏观缺陷筛查