检测项目
Ra（算术平均偏差）：0.01-25μm量程范围
Rz（最大高度粗糙度）：0.1-100μm垂直分辨率
Rq（均方根粗糙度）：±5%测量精度
Sm（轮廓单元平均间距）：0.25-8mm取样长度
Rmr（轮廓支承率曲线）：10%-90%截割水平
检测范围
金属加工件：车削/铣削/磨削表面
工程塑料：注塑成型件表面
陶瓷基材：烧结成型表面
复合材料：CFRP/GFRP层压面
涂层体系：PVD/CVD/热喷涂表面
检测方法
触针式轮廓法：ASTM E1155-20/GB/T 3505-2021
激光干涉法：ISO 25178-2:2022/GB/T 33523-2017
白光共聚焦法：ISO 4287:2020/GB/T 10610-2023
原子力显微术：ASTM E2859-21/GB/T 31227-2014
数字图像处理法：ISO 16610-21:2021/GB/T 18777-2022
检测设备
泰勒霍普森Surftest SJ-410：触针式三维轮廓仪（2nm垂直分辨率）
奥林巴斯LEXT OLS5000：激光共聚焦显微镜（0.01μm Z轴精度）
布鲁克ContourGT-X3：白光干涉三维形貌仪（1Å RMS重复性）
基恩士VK-X3000：3D激光显微系统（408nm波长光源）
三丰SJ-210便携式粗糙度仪：±10%全量程精度
蔡司Smartproof 5：共聚焦显微镜（780nm激光波长）
帕纳科Empyrean X射线衍射仪：残余应力关联分析模块
海克斯康Optiv Performance 443：多传感器复合测量系统
岛津SPM-9700HT原子力显微镜：0.1nm横向分辨率
尼康ECLIPSE L150工业显微镜：500×光学放大倍率