检测项目
1. 入射角偏差：测量范围±15°，分辨率0.01°
2. 反射角精度：允差±0.05°，重复性误差≤0.02°
3. 相位差容限：波长632.8nm下允差λ/20
4. 波前畸变量：PV值≤0.25λ（λ=632.8nm）
5. 表面斜率误差：测量精度±0.1μrad
检测范围
1. 光学镀膜元件：包括增透镜、分光棱镜等
2. 精密机械部件：高精度轴承滚道、导轨工作面
3. 复合材料层压板：碳纤维/环氧树脂复合结构件
4. 微电子基板：硅晶圆、GaAs衬底表面
5. 航天器热控涂层：多层隔热材料表面
检测方法
1. ASTM E903-20《材料太阳吸收率的标准测试方法》
2. ISO 10110-5:2015《光学元件表面公差规范》
3. GB/T 13811-2003《光学零件表面疵病检验方法》
4. ISO 14952-3:2018《表面化学分析-波倾角测量》
5. GB/T 32261.3-2015《纳米技术 表面特征测量方法》
检测设备
1. Zygo Verifire MST：激光干涉仪，波长632.8nm，精度λ/100
2. Taylor Hobson PGI Optics：非接触式三维轮廓仪，垂直分辨率0.1nm
3. Bruker ContourGT-X3：白光干涉仪，测量范围100×100mm
4. Mitutoyo SJ-410：表面粗糙度仪，探针半径2μm
5. Olympus LEXT OLS5000：激光共聚焦显微镜，放大率10800×
6. Keysight 5500LS：原子力显微镜，Z轴分辨率0.05nm
7. Renishaw XL-80：激光跟踪仪，角度测量精度±0.5μm/m
8. Nikon NEXIV VM-300S：影像测量系统，重复精度±0.8μm
9. Panasonic UA3P-6：超高精度三维测量机，分辨率1nm
10. Olympus EVIDENT USN60R：超声波探伤仪，频率范围0.5-25MHz