检测项目
1. 热膨胀系数(α值):测量-50℃至200℃区间线性膨胀率,精度±0.05×10⁻⁶/℃
2. 介电常数(ε):测试1MHz-10GHz频段介电响应值,误差≤±0.02
3. 损耗角正切(tanδ):测定微波频段3.0GHz下的介质损耗值
4. 羟基含量(OH⁻浓度):红外光谱法检测3000-3600cm⁻¹特征峰强度
5. 抗弯强度:三点弯曲试验测量断裂载荷值(MPa)
检测范围
1. 光学石英玻璃:紫外透射窗口、棱镜基材
2. 半导体用石英坩埚:单晶硅生长容器
3. 光纤预制棒:通信光纤芯层材料
4. 高温炉观察窗:耐温≥1200℃特种石英
5. 激光器件基板:低膨胀系数谐振腔材料
检测方法
1. ASTM E228:热膨胀系数推杆法测试规程
2. ISO 21701:微波腔体谐振法介电特性测量
3. GB/T 16535:石英玻璃羟基含量红外光谱分析法
4. ISO 14704:精细陶瓷抗弯强度测试标准
5. GB/T 7962.12:缺陷检验用应力双折射测定法
检测设备
1. 热膨胀仪:NETZSCH DIL 402 Expedis Classic(温度分辨率0.1℃)
2. 矢量网络分析仪:Keysight N5245B(频率范围10MHz-50GHz)
3. 傅里叶红外光谱仪:Thermo Scientific Nicolet iS50(光谱分辨率0.09cm⁻¹)
4. 万能材料试验机:Instron 5967(载荷精度±0.5%)
5. X射线衍射仪:Rigaku SmartLab SE(角度重复性±0.0001°)
6. 激光闪射仪:NETZSCH LFA 467 HyperFlash(导热系数测量范围0.1-2000W/mK)
7. 椭偏仪:J.A.Woollam M-2000XI(波长范围190-1700nm)
8. 原子力显微镜:Bruker Dimension Icon(分辨率0.1nm)
9. 等离子体质谱仪:Agilent 8900 ICP-MS(检出限ppt级)
10. 超声波探伤仪:Olympus EPOCH 650(频率范围0.5-30MHz)