检测项目

1. 表面粗糙度：Ra值≤0.5nm（接触式探针法），Sa值≤0.8nm（非接触白光干涉法）

2. 透光率：380-780nm波段透过率≥92%（分光光度计测量）

3. 热膨胀系数：20-300℃范围内α值（5.5±0.3）×10⁻⁷/℃

4. 维氏硬度：≥650HV0.5（500gf载荷保持15s）

5. 化学稳定性：98%浓硫酸浸泡24h质量损失≤0.02mg/cm²

检测范围

1. 光掩模基板用合成石英玻璃

2. EUV光刻机光学系统熔融硅玻璃

3. 晶圆载具用硼硅酸盐玻璃

4. MEMS封装用微晶玻璃

5. 半导体显示面板高铝硅玻璃

检测方法

1. ASTM E112-13测定晶粒尺寸

2. ISO 14703:2020表面缺陷电子显微镜分析法

3. GB/T 7962.1-2010无色光学玻璃测试规范

4. ASTM E228-17热膨胀系数激光干涉法

5. GB/T 16920-2015玻璃平均线热膨胀系数测定

检测设备

1. Mitutoyo LSM-9000激光扫描显微镜（表面形貌三维重建）

2. PerkinElmer Lambda 1050+双光束分光光度计（紫外-可见光全谱分析）

3. Netzsch DIL 402 Expedis Classic热膨胀仪（-160℃至1600℃温控）

4. Zwick Roell ZHV30显微硬度计（0.01-50kgf载荷范围）

5. Keyence VK-X3000激光共聚焦显微镜（0.01nm纵向分辨率）

6. Malvern Mastersizer 3000激光粒度仪（10nm-3.5mm粒径分析）

7. Agilent 7900 ICP-MS（ppb级元素杂质检测）

8. PerkinElmer DMA 8000动态热机械分析仪（储能模量测量）

9. Bruker ContourGT-X3白光干涉仪（0.1Å表面粗糙度解析）

10. FEI Quanta 650 FEG环境扫描电镜（1nm分辨率表面缺陷分析）