检测项目

1. 漏率测试：灵敏度≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s

2. 压力测量范围验证：覆盖1×10⁻⁵ Pa至1×10³ Pa

3. 线性度校准：偏差≤±1.5%FS

4. 零点漂移测试：8小时漂移量＜0.5%FS

5. 温度补偿性能：-20℃至80℃范围内误差≤±2%

检测范围

1. 半导体晶圆制造设备真空腔体

2. 磁控溅射镀膜系统真空管路

3. 高能物理实验粒子加速器真空室

4. 低温泵组复合真空测量系统

5. 航天器热真空试验舱压力监控单元

检测方法

1. ASTM E2971-22《静态膨胀法真空计校准规程》

2. ISO 3567:2020《真空技术-分压测量系统验收测试方法》

3. GB/T 3163-2022《真空计检定规程》

4. GB/T 6070-2023《真空系统漏率测试方法》

5. JIS B 8656:2019《电离真空计性能试验方法》

检测设备

1. INFICON PCG550复合真空校准系统（全量程动态校准）

2. Agilent UHV-24分子泵组（极限真空5×10⁻⁸ Pa）

3. Leybold CDG025D电容薄膜规（量程0.1-1000 Pa）

4. MKS 925型氦质谱检漏仪（灵敏度1×10⁻¹² Pa·m³/s）

5. Edwards STP-451三极规管测试台（电离规比对校准）

6. Pfeiffer HPT200高精度压力传输标准（不确定度±0.25%）

7. Varian UHV-24四极质谱分析系统（残余气体成分分析）

8. Canon Anelva MR-200磁悬浮转子规（基准压力测量）

9. Kurt J.Lesker KJLC 3400自动校准工作站（多点线性修正）

10. Shimadzu GCMS-QP2020气体色谱质谱联用仪（气体成分标定）