检测项目

1. 分度精度：线纹间距误差≤±0.5μm/m，角度偏差≤±0.5"

2. 表面平面度：局部平面度误差≤λ/10（@632.8nm）

3. 刻线边缘粗糙度：Ra≤0.02μm（GB/T 1031）

4. 透射波前畸变：PV值≤λ/4（ISO 10110-5）

5. 环境稳定性：温度循环（-50℃~+80℃）后位移量≤0.1μm

6. 反射率均匀性：可见光波段ΔR≤1%

7. 基底材料应力双折射：δ≤5nm/cm

检测范围

1. 玻璃基底金属镀膜分度镜（K9/BK7材质）

2. 石英晶体光栅分度器件（紫外级熔融石英）

3. 微结构阵列分度板（周期50-500μm）

4. 环形角度编码器用分度盘（Φ200-800mm）

5. MEMS工艺制备的硅基分度元件

6. 高温陶瓷基特种分度装置（耐温≥1200℃）

检测方法

1. ISO 10110-7:2017 光学元件表面缺陷评定

2. GB/T 7242-2010 光学分划元件通用技术条件

3. ASTM E284-17 光学表面粗糙度测量标准

4. ISO 14999-4:2015 光栅衍射效率测试规范

5. GB/T 11297.3-2015 激光干涉法平面度检测

6. DIN 876-3:2019 角度测量器具检定规程

7. JIS B 7090:2018 光学分划板检验方法

检测设备

1. ZYGO Verifire HD激光干涉仪（波长632.8nm，精度λ/1000）

2. Taylor Hobson PGI1240轮廓仪（垂直分辨率0.8nm）

3. Mitutoyo CMM-Crysta Apex S三坐标机（MPEE=1.2+L/400μm）

4. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪（20X物镜，NA=0.45）

5. Keysight 5530动态校准仪（角度分辨率0.01"）

6. Olympus LEXT OLS5000激光显微镜（12000X放大倍率）

7. Trioptics OptiCentric双光路偏心仪（精度±1μm）

8. Renishaw XL-80激光跟踪仪（测距精度±0.5ppm）

9. Shimadzu AIM-9000红外热像仪（热灵敏度20mK）

10. Agilent Cary7000全能型分光光度计（波长范围175-3300nm）