检测项目

1. 电极间距精度：测量相邻电极中心距偏差（±0.5μm）

2. 表面粗糙度：Ra值范围0.05-0.3μm

3. 电化学阻抗谱：频率范围10mHz-100kHz

4. 绝缘层耐压强度：DC 500V下漏电流≤1μA

5. 接触电阻稳定性：1000次插拔后ΔR≤5%

检测范围

1. 医疗植入式电极阵列（铂铱合金/钛基材）

2. MEMS压力传感器硅基阵列

3. 锂离子电池多极耳集流体

4. 柔性显示触控ITO电极

5. 神经探针微电极组（钨/铂黑涂层）

检测方法

1. ASTM E288-17 微电极阵列几何尺寸测量规范

2. ISO 16773-4:2017 电化学阻抗谱测试规程

3. GB/T 20046-2006 光伏组件电极接触电阻测试

4. IEC 62374-2007 半导体器件表面电荷分析

5. GB/T 2423.17-2008 盐雾腐蚀加速试验

检测设备

1. Keysight B1500A半导体分析仪：IV/CV特性曲线测量

2. Zeiss Sigma 500场发射扫描电镜：表面形貌纳米级观测

3. Gamry Reference 3000电化学工作站：交流阻抗谱分析

4. Mitutoyo CMM Crysta-Apex S：三维坐标尺寸测量（精度±0.8μm）

5. Thermo Fisher ESCALAB Xi+ XPS：表面元素化学态分析

6. Agilent 4294A阻抗分析仪：40Hz-110MHz宽频段测试

7. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪：非接触式粗糙度测量

8. Hioki IM3590高阻计：10^4~10^16Ω绝缘电阻测试

9. Weiss SB22盐雾试验箱：NSS/AASS/CASS腐蚀模拟

10. Instron 5944微力试验机：接触件插拔寿命测试

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与电极阵列检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。