检测项目
1. 电极间距精度：测量相邻电极中心距偏差（±0.5μm）
2. 表面粗糙度：Ra值范围0.05-0.3μm
3. 电化学阻抗谱：频率范围10mHz-100kHz
4. 绝缘层耐压强度：DC 500V下漏电流≤1μA
5. 接触电阻稳定性：1000次插拔后ΔR≤5%
检测范围
1. 医疗植入式电极阵列（铂铱合金/钛基材）
2. MEMS压力传感器硅基阵列
3. 锂离子电池多极耳集流体
4. 柔性显示触控ITO电极
5. 神经探针微电极组（钨/铂黑涂层）
检测方法
1. ASTM E288-17 微电极阵列几何尺寸测量规范
2. ISO 16773-4:2017 电化学阻抗谱测试规程
3. GB/T 20046-2006 光伏组件电极接触电阻测试
4. IEC 62374-2007 半导体器件表面电荷分析
5. GB/T 2423.17-2008 盐雾腐蚀加速试验
检测设备
1. Keysight B1500A半导体分析仪：IV/CV特性曲线测量
2. Zeiss Sigma 500场发射扫描电镜：表面形貌纳米级观测
3. Gamry Reference 3000电化学工作站：交流阻抗谱分析
4. Mitutoyo CMM Crysta-Apex S：三维坐标尺寸测量（精度±0.8μm）
5. Thermo Fisher ESCALAB Xi+ XPS：表面元素化学态分析
6. Agilent 4294A阻抗分析仪：40Hz-110MHz宽频段测试
7. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪：非接触式粗糙度测量
8. Hioki IM3590高阻计：10^4~10^16Ω绝缘电阻测试
9. Weiss SB22盐雾试验箱：NSS/AASS/CASS腐蚀模拟
10. Instron 5944微力试验机：接触件插拔寿命测试