检测项目

平面度误差：测量表面与理想平面的最大偏差值（0.1-50μm）

表面粗糙度Ra值：轮廓算术平均偏差（0.01-6.3μm）

波纹度Wz值：周期性轮廓波峰波谷高度差（0.5-100μm）

平行度误差：两平面间最大间距偏差（0.005-0.1mm）

垂直度误差：被测面与基准面的角度偏离量（≤0.02mm/100mm）

检测范围

金属材料：铝合金基板、不锈钢导轨等机械部件

光学玻璃：棱镜工作面、激光反射镜基体

陶瓷基板：集成电路封装基板、热沉组件

高分子复合材料：轴承滑轨、密封端面

精密模具：注塑模分型面、压铸模合模面

检测方法

ASTMD7127-17非接触式激光扫描法测定表面粗糙度

ISO12781-2011平面度的坐标测量机评定方法

GB/T10610-2009触针式表面粗糙度测量仪技术要求

GB/T1958-2017产品几何量技术规范(GPS)形状公差检测

ISO4288-1996表面粗糙度参数的评定规则和程序

检测设备

MitutoyoCRYSTA-ApexS系列三坐标测量机：空间精度(1.9+3L/1000)μm

TaylorHobsonFormTalysurfi系列轮廓仪：垂直分辨率0.8nm

ZygoNewView9000激光干涉仪：平面度测量精度λ/20(λ=632.8nm)

KeyenceVHX-7000数字显微镜：三维表面重建精度1%

JenoptikWaveline干涉仪：波长扫描范围400-1000nm

HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：空间精度0.025mm

OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：Z轴分辨率10nm

CMMVisionAutoScan全自动影像测量系统：重复精度0.5μm

RenishawXL-80激光校准系统：线性测量精度0.5ppm

SIP405MZ高精度测长机：最大允许误差(0.1+0.5L/1000)μm