检测项目
平面度误差：测量表面与理想平面的最大偏差值（0.1-50μm）
表面粗糙度Ra值：轮廓算术平均偏差（0.01-6.3μm）
波纹度Wz值：周期性轮廓波峰波谷高度差（0.5-100μm）
平行度误差：两平面间最大间距偏差（0.005-0.1mm）
垂直度误差：被测面与基准面的角度偏离量（≤0.02mm/100mm）
检测范围
金属材料：铝合金基板、不锈钢导轨等机械部件
光学玻璃：棱镜工作面、激光反射镜基体
陶瓷基板：集成电路封装基板、热沉组件
高分子复合材料：轴承滑轨、密封端面
精密模具：注塑模分型面、压铸模合模面
检测方法
ASTMD7127-17非接触式激光扫描法测定表面粗糙度
ISO12781-2011平面度的坐标测量机评定方法
GB/T10610-2009触针式表面粗糙度测量仪技术要求
GB/T1958-2017产品几何量技术规范(GPS)形状公差检测
ISO4288-1996表面粗糙度参数的评定规则和程序
检测设备
MitutoyoCRYSTA-ApexS系列三坐标测量机：空间精度(1.9+3L/1000)μm
TaylorHobsonFormTalysurfi系列轮廓仪：垂直分辨率0.8nm
ZygoNewView9000激光干涉仪：平面度测量精度λ/20(λ=632.8nm)
KeyenceVHX-7000数字显微镜：三维表面重建精度1%
JenoptikWaveline干涉仪：波长扫描范围400-1000nm
HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：空间精度0.025mm
OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：Z轴分辨率10nm
CMMVisionAutoScan全自动影像测量系统：重复精度0.5μm
RenishawXL-80激光校准系统：线性测量精度0.5ppm
SIP405MZ高精度测长机：最大允许误差(0.1+0.5L/1000)μm