检测项目
1.表面形貌分析：分辨率≤0.1nm（垂直方向），扫描范围100μm100μm
2.表面粗糙度测量：Ra（算术平均粗糙度）精度0.05nm
3.力学性能测试：弹性模量测量范围0.1kPa-100GPa
4.粘附力检测：力灵敏度≤10pN
5.电学特性表征：电流分辨率≤1pA（导电探针模式）
检测范围
1.半导体材料：硅片、GaN薄膜的台阶高度与缺陷分析
2.生物样品：DNA分子链形态及细胞膜弹性模量测定
3.高分子材料：聚合物表面相分离结构与纳米压痕测试
4.金属材料：晶界形貌与微区摩擦系数测量
5.二维材料：石墨烯层数判定与边缘缺陷表征
检测方法
ISO11039:2011纳米技术-原子力显微镜校准规范
ASTME2859-11原子力显微镜探针弹性常数标定方法
GB/T31227-2014原子力显微镜测量纳米薄膜厚度的方法
ISO19606:2017纤维增强复合材料界面性能AFM测试规程
GB/T35031-2018微机电系统器件表面形貌AFM测量标准
检测设备
1.BrukerDimensionIcon：配备ScanAsyst模式，实现自适应表面形貌成像
2.Keysight5500SPM：集成电化学模块，支持液相环境原位测试
3.ParkSystemsNX20：采用TrueNon-Contact模式，探针寿命延长3倍
4.OxfordInstrumentsCypherES：配置蓝光热漂移补偿系统，温控精度0.1℃
5.HitachiAFM5100N：集成高速扫描器（20帧/秒），适用于动态过程观测
6.NT-MDTNTEGRAPrima：配备拉曼光谱联用接口，实现化学校准分析
7.JEOLJSPM-5200：搭载真空样品室（10^-5Pa），满足超洁净表面测试需求
8.WITecalpha300AR：整合共聚焦显微镜模块，支持多模态关联成像