1.表面形貌分析:分辨率≤0.1nm(垂直方向),扫描范围100μm100μm
2.表面粗糙度测量:Ra(算术平均粗糙度)精度0.05nm
3.力学性能测试:弹性模量测量范围0.1kPa-100GPa
4.粘附力检测:力灵敏度≤10pN
5.电学特性表征:电流分辨率≤1pA(导电探针模式)
1.半导体材料:硅片、GaN薄膜的台阶高度与缺陷分析
2.生物样品:DNA分子链形态及细胞膜弹性模量测定
3.高分子材料:聚合物表面相分离结构与纳米压痕测试
4.金属材料:晶界形貌与微区摩擦系数测量
5.二维材料:石墨烯层数判定与边缘缺陷表征
ISO11039:2011纳米技术-原子力显微镜校准规范
ASTME2859-11原子力显微镜探针弹性常数标定方法
GB/T31227-2014原子力显微镜测量纳米薄膜厚度的方法
ISO19606:2017纤维增强复合材料界面性能AFM测试规程
GB/T35031-2018微机电系统器件表面形貌AFM测量标准
1.BrukerDimensionIcon:配备ScanAsyst模式,实现自适应表面形貌成像
2.Keysight5500SPM:集成电化学模块,支持液相环境原位测试
3.ParkSystemsNX20:采用TrueNon-Contact模式,探针寿命延长3倍
4.OxfordInstrumentsCypherES:配置蓝光热漂移补偿系统,温控精度0.1℃
5.HitachiAFM5100N:集成高速扫描器(20帧/秒),适用于动态过程观测
6.NT-MDTNTEGRAPrima:配备拉曼光谱联用接口,实现化学校准分析
7.JEOLJSPM-5200:搭载真空样品室(10^-5Pa),满足超洁净表面测试需求
8.WITecalpha300AR:整合共聚焦显微镜模块,支持多模态关联成像
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与原子力显微镜检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。