检测项目
1.激光波长稳定性：6355nm波段波动值≤0.02%
2.扫描精度偏差：XY轴定位误差≤1.5μm/100mm
3.采样频率响应：200kHz基准下相位延迟＜3μs
4.信号衰减系数：50m光纤传输损耗≤0.25dB/km
5.温度漂移量：-20℃~60℃环境补偿误差＜0.003%/℃
检测范围
1.光学玻璃基板表面形貌扫描系统
2.半导体晶圆缺陷定位装置
3.复合材料CT断层扫描仪
4.工业机器人3D视觉引导模块
5.医疗CT机旋转机架定位单元
检测方法
ASTME2544-11a激光扫描系统校准规程
ISO10360-8坐标测量机动态性能测试
GB/T26124-2010光学三维测量系统验收规范
ISO9283:2022工业机器人性能测试标准
GB/T16857.7-2019产品几何量技术规范（GPS）
检测设备
1.KeyenceLJ-V7000系列激光位移计：分辨率0.01μm
2.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量精度0.5ppm
3.OGPSmartScopeFlash500多传感器系统：Z轴重复性0.8μm
4.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：空间精度28μm
5.OlympusLEXTOLS50003D激光显微镜：横向分辨率120nm
6.PolytecPSV-500扫描式振动分析仪：频率范围0-25MHz
7.MitutoyoCMMCrysta-ApexS系列：最大允许误差1.9+L/250μm
8.ZygoNewView9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm
9.FlukeTi450红外热像仪：热灵敏度≤0.03℃
10.NIPXIe-5171R高速采集卡：采样率1GS/s