检测项目

1.激光波长稳定性：6355nm波段波动值≤0.02%

2.扫描精度偏差：XY轴定位误差≤1.5μm/100mm

3.采样频率响应：200kHz基准下相位延迟＜3μs

4.信号衰减系数：50m光纤传输损耗≤0.25dB/km

5.温度漂移量：-20℃~60℃环境补偿误差＜0.003%/℃

检测范围

1.光学玻璃基板表面形貌扫描系统

2.半导体晶圆缺陷定位装置

3.复合材料CT断层扫描仪

4.工业机器人3D视觉引导模块

5.医疗CT机旋转机架定位单元

检测方法

ASTME2544-11a激光扫描系统校准规程

ISO10360-8坐标测量机动态性能测试

GB/T26124-2010光学三维测量系统验收规范

ISO9283:2022工业机器人性能测试标准

GB/T16857.7-2019产品几何量技术规范（GPS）

检测设备

1.KeyenceLJ-V7000系列激光位移计：分辨率0.01μm

2.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量精度0.5ppm

3.OGPSmartScopeFlash500多传感器系统：Z轴重复性0.8μm

4.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：空间精度28μm

5.OlympusLEXTOLS50003D激光显微镜：横向分辨率120nm

6.PolytecPSV-500扫描式振动分析仪：频率范围0-25MHz

7.MitutoyoCMMCrysta-ApexS系列：最大允许误差1.9+L/250μm

8.ZygoNewView9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm

9.FlukeTi450红外热像仪：热灵敏度≤0.03℃

10.NIPXIe-5171R高速采集卡：采样率1GS/s

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与扫描器中断检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。