检测项目

1.表面粗糙度（Ra）：测量范围0.1-25μm，分辨率0.001μm
2.波纹度（Wz）：波长0.08-8mm，幅值精度0.05μm
3.平面度误差：最大允许偏差5μm/m
4.峰谷高度（Rt）：量程0.5-100μm
5.轮廓算术平均偏差（Rz）：JISB0601标准下测量间距0.08-2.5mm

检测范围

1.金属加工件：包含CNC车削件（公差IT6-IT8）、压铸铝合金件（壁厚＞2mm）
2.高分子材料：注塑成型件（PP/ABS/POM）、挤出板材（厚度1-20mm）
3.光学元件：非球面透镜（曲率半径＞10mm）、棱镜工作面（角度误差＜30″）
4.陶瓷基复合材料：氮化硅轴承球（直径Φ3-50mm）、碳化硅密封环
5.精密模具：镜面电火花加工面（VDI3400标准#18-#24）、慢走丝切割面（Ra≤0.4μm）

检测方法

1.接触式探针法：执行GB/T10610-2018标准，探针半径2μm/5μm可选
2.白光干涉法：符合ISO25178-2:2022三维表面表征规范
3.激光共聚焦法：依据ASTME2848-13测量透明/高反射材料
4.相位偏移干涉术：满足GB/T29505-2013纳米级表面测量要求
5.数字图像相关法：采用ISO16610-21:2021滤波算法处理点云数据

检测设备

1.TaylorHobsonPGI3D轮廓仪：非接触式三维测量，Z轴分辨率0.1nm
2.MitutoyoSurftestSJ-410：接触式粗糙度仪，符合JISB0651标准
3.BrukerContourElite白光干涉仪：最大扫描面积100100mm
4.ZeGagePlusMX三维光学轮廓仪：垂直分辨率0.01nm
5.KeyenceVK-X3000激光显微镜：12000光学放大倍率
6.MahrMarSurfLD260：多探头集成系统（粗糙度+轮廓+圆度）
7.AliconaInfiniteFocusG5：变焦光学系统景深15mm
8.JenoptikWaveline：符合VDI/VDE2655标准的波面分析模块
9.OlympusLEXTOLS5000：405nm激光光源+40964096像素CCD
10.ZygoNewView9000：相移干涉法测量速度＞200万点/秒