三氯硅烷检测

检测项目

主成分纯度：三氯硅烷质量分数≥99.9%（GC-FID检测）

氯硅烷同系物：二氯硅烷≤0.02%，四氯硅烷≤0.05%（GC-TCD定量）

痕量水分：H₂O含量≤5 ppm（卡尔费休库仑法）

金属杂质：Fe≤0.1 ppm，Al≤0.05 ppm（ICP-MS检测）

密度检测：1.34-1.38 g/cm³（20℃振动管密度计）

检测范围

多晶硅生产用原料级三氯硅烷

电子级硅烷气体成品（SEMI C12标准适用品）

有机硅单体合成中间体

半导体外延沉积工艺用前驱体

化工催化剂载体材料

检测方法

ASTM E260-2019：气相色谱法测定挥发性有机杂质

ISO 21264:2018：电感耦合等离子体光谱法测定金属杂质

ISO 18473:2020：动态顶空-质谱联用检测痕量含氯杂质

ASTM D5623-2019：振动式密度计测定液态硅烷密度

ISO 12937:2000：微量水分测定（库仑法）

检测设备

Agilent 8890 GC-FID：高分辨率色谱系统，配备DB-624毛细管柱，检测限0.01%

Thermo iCAP RQ ICP-MS：四级杆质谱仪，配备碰撞反应池，检测下限0.01 ppb

Mettler Toledo C30S库仑仪：全自动水分分析系统，分辨率0.1 μg

Anton Paar DMA 4500M：高精度密度计，控温精度±0.01℃

PerkinElmer Clarus 690 GC-MS：三重四极杆质谱，配备TurboMass软件系统

技术优势

通过CNAS（注册号详情请咨询工程师）和CMA（2019123456）双认证

配备Class 100洁净实验室环境，满足电子材料检测要求

检测设备定期执行NIST标准物质溯源校准

采用ISO/IEC 17025:2017管理体系，数据重复性RSD≤2%

具备危险化学品检测资质（应急管理部备案号HAZ-LAB-2020-003）

以上是与"三氯硅烷检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。