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三氟化钨检测

  • 原创官网
  • 2025-05-10 15:14:17
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三氟化钨检测概述:三氟化钨(WF₆)作为特种气体材料,广泛应用于半导体制造和核工业领域。专业检测需关注纯度、杂质含量、物理特性及安全性指标。本文系统阐述WF₆的关键检测项目、适用材料范围、标准化分析方法及精密仪器配置,为工业质量控制提供技术依据。


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注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师。

☌ 询价

检测项目

1.纯度分析:≥99.9%(体积分数),采用气相色谱-质谱联用技术
2.氟含量测定:总氟量≥76.5%(质量分数),误差0.3%
3.金属杂质检测:Fe≤5ppm、Ni≤3ppm、Cr≤2ppm(ICP-MS法)
4.水分含量:≤10ppm(露点法-80℃)
5.颗粒度分布:D50值0.5-2μm(激光衍射法)

检测范围

1.电子级WF₆气体(纯度≥99.999%)
2.CVD工艺用钨薄膜前驱体
3.核燃料循环系统密封材料
4.氟化反应催化剂载体
5.特种光学镀膜原料

检测方法

1.ASTME260-96(2021)气相色谱法测定氟化物纯度
2.ISO21483:2017电感耦合等离子体质谱法测定金属杂质
3.GB/T14852-2020气体中微量水分的测定
4.ASTMD6784-16离子色谱法测定阴离子杂质
5.GB/T19077-2016激光衍射法粒度分析通则

检测设备

1.RigakuZSXPrimusIVX射线荧光光谱仪(元素定量分析)
2.Agilent8890GC-MS系统(挥发性杂质检测)
3.Metrohm917CoulometricKarlFischer滴定仪(水分测定)
4.MalvernMastersizer3000激光粒度仪(颗粒分布测试)
5.ThermoFisheriCAPRQICP-MS(痕量金属分析)
6.BrukerTENSORII傅里叶红外光谱仪(分子结构鉴定)
7.MettlerToledoDSC3差示扫描量热仪(热稳定性测试)
8.HORIBAEMIA-920V碳硫分析仪(非金属杂质测定)
9.AntonPaarDMA4500M密度计(物理特性分析)
10.INFICONHAPSITEER便携式气质联用仪(现场快速筛查

北检(北京)检测技术研究院【简称:北检院】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

  以上是与三氟化钨检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。

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