检测项目
1.电导率测量:直流/交流电导率(10-6-106S/cm)、温度依赖性(77-1000K)
2.霍尔效应分析:载流子浓度(1014-1021cm-3)、霍尔迁移率(0.1-105cm/(Vs))
3.塞贝克系数测试:热电势范围2000μV/K、温度梯度控制(ΔT=1-50K)
4.迁移率谱测量:频率响应(1Hz-1MHz)、磁场强度(0-14T)
5.阻抗谱分析:介电常数(ε'=1-106)、损耗因子(tanδ=0.001-100)
检测范围
1.半导体材料:硅基器件、III-V族化合物、宽禁带半导体(GaN/SiC)
2.金属材料:纯金属/合金薄膜、纳米线阵列
3.二维材料:石墨烯、过渡金属硫化物(MoS2/WS2)
4.有机电子材料:导电高分子(PEDOT:PSS)、钙钛矿薄膜
5.热电材料:Bi2Te3基合金、Skutterudite化合物
检测方法
ASTMF76-08(2016):半导体霍尔效应标准测试规程
ISO14707:2015:辉光放电光谱法表面电导率测定
GB/T1551-2009:硅单晶电阻率测定方法
IEC62631-3-1:2016:介电性能频率特性测试
GB/T14141-2009:半导体晶片载流子浓度测定
ASTME1225-13:稳态纵向热流法塞贝克系数测量
检测设备
1.KEITHLEY2450源表:四探针法电阻率测量(10nΩm-100MΩm)
2.LakeShore8404霍尔效应系统:0.05T-2T磁场精度0.25%
3.NetzschSBA458热分析仪:塞贝克系数测量分辨率0.1μV/K
4.AgilentE4990A阻抗分析仪:20Hz-120MHz宽频介电谱测试
5.QuantumDesignPPMSDynaCool:14T超导磁体低温输运测试(1.9-400K)
6.KeysightB1500A半导体分析仪:脉冲I-V特性曲线测量
7.JandelRM3000四探针台:薄膜材料面电阻自动测绘
8.LinseisLSR-3激光闪射仪:热扩散系数同步测量
9.OxfordInstrumentsTeslatronPT:变温磁输运系统(4.2-300K)
10.HORIBALabRAMHREvolution:拉曼光谱载流子浓度关联分析