检测项目

1.位置精度：测量实际位移与理论值的偏差范围（0.01mm~0.5mm）

2.重复定位精度：连续运动后复位误差（≤0.005mm）

3.轨迹跟踪误差：动态运动路径偏移量（≤0.02mm@1m/s）

4.角度分辨率：旋转轴最小识别角度（0.0001）

5.响应时间：指令发出到执行达标的延迟（≤10ms）

检测范围

1.数控机床主轴与导轨系统

2.工业机器人多轴联动机构

3.半导体光刻机精密平台

4.自动化仓储物流输送线

5.航空航天舵机控制系统

检测方法

ASTME2309-05(2020)：采用激光干涉仪进行线性位移校准

ISO9283:2022：工业机器人轨迹精度测试规范

GB/T17421.2-2016：机床圆运动测试的数据处理方法

GB/T30231-2013：光电编码器角度测量系统验证规程

ISO230-7:2015：数控机床回转轴定位精度评定标准

检测设备

1.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量分辨率0.001μm

2.HexagonLeitzPMM-CInfinity三坐标测量机：空间精度1.9+L/350μm

3.Keysight5530动态校准仪：最高采样率200kHz

4.Micro-EpsiloncapiNCDT6700非接触式位移传感器：量程2mm/分辨率10nm

5.AerotechABL1500空气轴承转台：径向跳动＜0.05μm

6.OMRONR88D-KN系列伺服驱动器：支持17位绝对值编码器反馈

7.PolytecPSV-500扫描式激光测振仪：频率范围DC-25MHz

8.NIPXIe-5171R高速数据采集卡：18位分辨率/250MS/s采样率

9.MitutoyoLH-600数字化测高仪：Z轴重复精度0.3μm

10.FAROVantageS6激光跟踪仪：绝对测距精度15μm+6μm/m