检测项目

1.三维投影轮廓度：测量范围5mm，分辨率0.1μm

2.表面粗糙度Ra值：检测范围0.05-25μm，符合ISO4287标准

3.几何尺寸偏差：包括直线度（≤0.02mm/m）、平面度（≤0.03mm）

4.微观缺陷识别：最小检出尺寸10μm10μm2μm

5.热变形量分析：温度范围-40℃~300℃，精度0.005%FS

检测范围

1.航空发动机叶片：钛合金/镍基高温合金材质

2.精密模具钢件：SKD11/NAK80等工具钢

3.汽车传动齿轮：20CrMnTi渗碳淬火件

4.半导体引线框架：C19400铜合金蚀刻件

5.核电管道焊缝：SA508Gr.3钢焊接接头

检测方法

1.结构光扫描法：依据ISO25178-2标准实施

2.激光三角测量法：执行GB/T34879-2017规范

3.相位偏移轮廓术：符合ASTME2919-19要求

4.白光干涉测量法：参照ISO25178-604标准

5.数字图像相关法：采用GB/T38809-2020规程

检测设备

1.KeyenceVR-3200三维扫描仪：最大扫描范围Φ300mm200mm

2.ZeissCOMETL3D2结构光系统：精度2.8μm+3.5μm/m

3.OlympusDSX1000数码显微镜：2000倍光学放大能力

4.MitutoyoQuickVisionPro影像仪：重复精度0.6μm

5.GOMATOSQ三维测量头：单幅测量点数400万点

6.BrukerContourGT-X8白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm

7.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：空间精度15μm+6μm/m

8.NikonNEXIVVMZ-S655影像系统：双远心光学镜头组

9.SteinbichlerCometL3D结构光扫描仪：扫描速率150万点/秒

10.AliconaInfiniteFocusG5光学3D测量仪：轴向分辨率10nm