检测项目
1.狭缝宽度精度：测量范围0.1-500μm，分辨率达0.01μm
2.边缘直线度偏差：最大允许误差0.05μm/10mm
3.表面粗糙度：Ra值检测范围0.001-0.8μm
4.透射均匀性：波长范围200-2500nm内波动值≤1.5%
5.材料热膨胀系数：温度循环测试范围-196℃~300℃
检测范围
1.光刻机用铬掩模板狭缝阵列
2.傅里叶变换红外光谱仪入射狭缝组件
3.同步辐射光束线单晶硅狭缝系统
4.激光切割机钨钢材质精密狭缝刀口
5.X射线荧光分析仪钼合金防护狭缝
检测方法
ASTME1951-14(2019)光学狭缝宽度校准标准方法
ISO14997:2011光学元件表面缺陷分析方法
GB/T26189-2010光学系统杂散光测试方法
ISO10110-8:2020光学元件表面粗糙度规范
GB/T1800.2-2020产品几何技术规范(GPS)线性尺寸公差
检测设备
1.ZygoVerifireMST激光干涉仪：波长稳定性0.01nm，用于纳米级形貌测量
2.KeyenceLM-9000系列激光轮廓仪：Z轴分辨率0.01μm，扫描速度50kHz
3.BrukerDektakXT台阶仪：最大量程1mm，垂直分辨率0.1
4.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：12000光学放大倍率
5.AgilentCary7000全能型分光光度计：光谱范围175-3300nm
6.MitutoyoCMM-CrystaPlusM574三坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm
7.Instron6800系列万能材料试验机：载荷范围0.02N-600kN
8.FEIHeliosG4UX聚焦离子束电镜：分辨率0.7nm@15kV
9.NetzschDIL402ExpedisClassic热膨胀仪：温度分辨率0.01℃
10.VeecoNT9100白光干涉仪：垂直扫描速度50μm/s