检测项目

1.狭缝宽度精度：测量范围0.1-500μm，分辨率达0.01μm

2.边缘直线度偏差：最大允许误差0.05μm/10mm

3.表面粗糙度：Ra值检测范围0.001-0.8μm

4.透射均匀性：波长范围200-2500nm内波动值≤1.5%

5.材料热膨胀系数：温度循环测试范围-196℃~300℃

检测范围

1.光刻机用铬掩模板狭缝阵列

2.傅里叶变换红外光谱仪入射狭缝组件

3.同步辐射光束线单晶硅狭缝系统

4.激光切割机钨钢材质精密狭缝刀口

5.X射线荧光分析仪钼合金防护狭缝

检测方法

ASTME1951-14(2019)光学狭缝宽度校准标准方法

ISO14997:2011光学元件表面缺陷分析方法

GB/T26189-2010光学系统杂散光测试方法

ISO10110-8:2020光学元件表面粗糙度规范

GB/T1800.2-2020产品几何技术规范(GPS)线性尺寸公差

检测设备

1.ZygoVerifireMST激光干涉仪：波长稳定性0.01nm，用于纳米级形貌测量

2.KeyenceLM-9000系列激光轮廓仪：Z轴分辨率0.01μm，扫描速度50kHz

3.BrukerDektakXT台阶仪：最大量程1mm，垂直分辨率0.1

4.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：12000光学放大倍率

5.AgilentCary7000全能型分光光度计：光谱范围175-3300nm

6.MitutoyoCMM-CrystaPlusM574三坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm

7.Instron6800系列万能材料试验机：载荷范围0.02N-600kN

8.FEIHeliosG4UX聚焦离子束电镜：分辨率0.7nm@15kV

9.NetzschDIL402ExpedisClassic热膨胀仪：温度分辨率0.01℃

10.VeecoNT9100白光干涉仪：垂直扫描速度50μm/s

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与狭缝函数检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。