检测项目
1.化学成分分析:测定钼含量(≥99.95%)、杂质元素(Fe≤0.003%、Ni≤0.002%、C≤0.005%)
2.几何尺寸精度:尖端曲率半径(0.05μm)、总长度公差(0.1mm)、直径偏差(0.02mm)
3.表面粗糙度检测:Ra≤0.4μm(接触式轮廓仪测量)、Rz≤3.2μm(白光干涉仪测量)
4.显微硬度测试:HV0.2≥220(载荷200gf保持15s)
5.导电性能验证:电阻率≤5.710⁻⁸Ωm(四探针法测量)
检测范围
1.半导体用高纯钼尖电极(纯度≥4N5)
2.电真空器件钍钨复合电极(ThO₂含量1.5-2.0wt%)
3.高温炉用烧结钼电极(密度≥10.2g/cm)
4.医疗CT设备旋转阳极组件(工作温度≥1600℃)
5.航天点火装置特种电极(抗热震循环≥500次)
检测方法
ASTME1479-2016《金属材料火花原子发射光谱分析方法》
ISO6507-1:2018《金属材料维氏硬度试验》
GB/T17722-2021《金属覆盖层厚度测量扫描电镜法》
GB/T4325-2013《钼化学分析方法》
IEC60468:2020《金属材料电阻率测量方法》
检测设备
1.HitachiSU5000场发射扫描电镜(分辨率1nm@15kV)
2.ThermoScientificARL4460直读光谱仪(检出限0.1ppm)
3.ZwickZHVμ显微硬度计(载荷范围10gf-10kgf)
4.TaylorHobsonFormTalysurfi120粗糙度仪(纵向分辨率0.8nm)
5.KeysightB2902A精密源表(电阻测量精度0.02%)
6.NetzschDIL402C热膨胀仪(温度范围-160℃-2000℃)
7.BrukerD8ADVANCEX射线衍射仪(角度重复性0.0001)
8.Agilent7900ICP-MS(质量数范围2-260amu)
9.MitutoyoCMMCrysta-ApexS三坐标测量机(空间精度0.6+L/400μm)
10.OxfordInstrumentsAZtecEnergyEDS系统(元素分析范围Be-Pu)