检测项目

1.厚度偏差：公差范围0.01mm（依据GB/T1800.2-2020）

2.表面粗糙度：Ra≤0.02μm（符合ISO10110-8:2020光学表面规范）

3.环带间距精度：误差≤0.5μm（ASTME284-17标准）

4.基底材料折射率：n=1.51680.0002（ISO12123:2021测试条件）

5.透射波前畸变：PV值＜λ/10@632.8nm（GB/T15307-2018激光干涉法）

检测范围

1.熔融石英基波带片（JGS1/JGS2/JGS3等级）

2.氟化钙晶体衍射元件（CaF₂纯度≥99.99%）

3.硅基微纳结构相位板（直径50-300mm）

4.金属镍电铸复制光栅（线宽精度10nm）

5.聚合物柔性菲涅尔透镜（PET/PMMA基材）

检测方法

1.激光干涉法：依据ISO14999-4:2015测量透射波前误差

2.白光干涉轮廓术：按GB/T29557-2013进行三维形貌重建

3.X射线荧光光谱法：执行ASTME1621-13分析元素成分

4.纳米压痕测试：基于ISO14577-1:2015测定材料硬度

5.傅里叶红外光谱法：依照GB/T6040-2019检验镀膜特性

检测设备

1.ZygoVerifireMST激光干涉仪（波长632.8nm，精度λ/100）

2.BrukerContourGT-K光学轮廓仪（垂直分辨率0.1nm）

3.MitutoyoCRYSTA-ApexS574三坐标测量机（空间精度1.1+L/300μm）

4.ShimadzuXRD-7000X射线衍射仪（角度重复性0.0001）

5.Olympus38DLPLUS超声波测厚仪（量程0.15-500mm）

6.RenishawXL-80激光跟踪仪（动态精度15ppm）

7.AgilentCary7000紫外可见分光光度计（波长范围175-3300nm）

8.KeysightN5227A矢量网络分析仪（频率范围10MHz-67GHz）

9.ZeissAxioImager.M2m金相显微镜（最大放大倍数1500）

10.HitachiSU5000场发射电镜（分辨率1nm@15kV）