检测项目

热膨胀系数（CTE）：测量范围-50℃至1200℃，α值≤0.55×10⁻⁶/℃

光学均匀性：波前畸变≤λ/8@632.8nm，折射率不均匀性＜5×10⁻⁶

羟基含量：采用FTIR光谱法，检测限达0.1ppm-OH

表面粗糙度：Ra≤0.5nm（原子力显微镜测定）

抗热震性：急冷温差≥800℃（ASTM C484标准）

透光率：190-2500nm光谱范围，紫外区≥90%

检测范围

半导体制造用石英扩散管（φ200-450mm）

光刻机光学系统石英窗口（平面度λ/20）

高温炉观察窗用耐热石英管（耐温1700℃）

激光器谐振腔石英基片（表面光洁度10/5）

光伏单晶炉石英坩埚（羟基含量≤30ppm）

检测方法

热膨胀系数：ASTM E228-17激光干涉法

光学均匀性：ISO 10109-5双光路干涉测量

羟基含量：ASTM E2224-19傅里叶变换红外光谱法

表面缺陷：ISO 14952-3白光共聚焦显微镜法

耐酸性：DIN 12116沸腾酸侵蚀试验（HF:HCl=1:3）

检测设备

热膨胀分析仪：NETZSCH DIL 402 Expedis，温度分辨率0.1℃

激光干涉仪：ZYGO Verifire MST 12"口径，精度λ/1000

红外光谱仪：Bruker VERTEX 80v，光谱分辨率0.2cm⁻¹

原子力显微镜：Bruker Dimension Icon，Z轴分辨率0.05nm

高温热震试验箱：Thermcraft SFL-1700X，最大温变速率1000℃/min

技术优势

CNAS认可实验室（注册号详情请咨询工程师5），检测数据国际互认

配备ISO/IEC 17025:2017标准质量体系

CMA资质认定（证书编号详情请咨询工程师）

自主开发石英材料数据库，含2000+组比对数据

拥有SEMI认证洁净实验室（Class 100）