检测项目
1.波前像差：测量RMS值（λ/20~λ/100）与PV值（λ/5~λ/50），精度达0.001λ
2.球差：Zernike系数Z8项分析（0.05λ~2λ），焦移量0.1mm~5mm
3.彗差：Zernike系数Z7/Z8组合量测（0.02λ~1.5λ），方位角定位精度0.5
4.场曲：全视场焦面偏移量测定（10μm~500μm），曲率半径R≥100mm
5.畸变：相对畸变率0.01%~5%，网格畸变矢量分析精度0.1pixel
检测范围
1.光学透镜：包括非球面透镜、菲涅尔透镜及微透镜阵列
2.显微镜物镜：数值孔径NA≥0.25的无限远校正光学系统
3.相机镜头：涵盖手机镜头模组至中画幅摄影镜头
4.激光聚焦系统：光纤耦合器与高功率激光聚焦镜组
5.投影镜头：DLP/LCD投影光引擎与AR/VR近眼显示系统
检测方法
ISO9334:2012《光学系统像质评价-星点检验法》
ISO10110-5:2015《光学元件表面缺陷公差规范》
ASTME903-20《材料太阳吸收率标准测试方法》
GB/T7661-2009《光学零件表面疵病检验方法》
GB7247.1-2012《激光产品的辐射安全分类要求》
检测设备
1.ZygoVerifireMST激光干涉仪：波长632.8nm，动态范围100λ，重复精度0.005λ
2.TriopticsImageMasterHR像质分析仪：MTF测量范围0-200lp/mm，角分辨率0.01
3.4DTechnologyAccuFiz动态干涉仪：100mm口径测量时间＜3s，振动抑制＞50dB
4.OptikosLensCheck系列光具座：焦距测量范围10-2000mm，解析力0.1μm
5.HamamatsuC10910D波前传感器：微透镜阵列10241024像素，采样率1kHz
6.ThorlabsWFS150Shack-Hartmann传感器：有效孔径15mm，动态范围50λ
7.KeysightCary7000全能型分光光度计：波长范围190-2500nm，光谱带宽0.05nm
8.OphirSpiriconM2-200光束质量分析仪：M因子测量误差＜3%，功率范围10μW-20W
9.MitutoyoMF-U1000超景深显微镜：最大倍率5000，Z轴分辨率10nm
10.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，横向分辨率0.35μm