检测项目

表面粗糙度：Ra≤0.8nm（RMS值），采用白光干涉法测量

平面度误差：局部偏差≤λ/10（@632.8nm），全口径PV值＜λ/4

孔径偏差：标称直径0.5μm（Φ50mm以下），圆度误差≤0.3μm

衍射效率：一级衍射光＞85%（设计波长5nm范围内）

基底材料均匀性：折射率变化Δn＜510⁻⁶（100mm有效口径）

检测范围

熔融石英基紫外波段绕射盘（200-400nm）

硅基红外绕射盘（3-5μm/8-12μm波段）

金属镍基微结构衍射元件

聚合物薄膜柔性衍射光学器件

多层镀膜宽谱段复合衍射组件

检测方法

ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评定

ASTME903-20材料光谱反射率/透射率测试

GB/T1800.1-2020产品几何技术规范（GPS）线性尺寸公差

ISO14999-4:2015光学元件波前畸变测量

GB/T26189-2010激光衍射法粒度分析通则

检测设备

ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm/1064nm双模式，面形精度λ/100PV

TalySurfCCILite非接触轮廓仪：垂直分辨率0.1nm，扫描范围100100mm

BrukerContourGT-X3白光干涉仪：20~150物镜组，三维形貌重建

MitutoyoCMM-CrystaApexS三坐标机：空间精度(1.2+L/400)μm

OceanOpticsHR4000光谱仪：200-1100nm波长范围，光学分辨率0.75nm

Newport1815-C功率计：波长范围190-1100nm，测量精度0.5%

LeicaDCM8共聚焦显微镜：1200万像素CCD，Z轴分辨率1nm

ShimadzuAIM-9000红外显微镜：15~150物镜，MCT探测器（640512像素）

NikonMM-400L测量显微镜：激光对焦系统，重复定位精度0.1μm