镜象法检测

检测项目

1.表面粗糙度：Ra值范围0.1-1.6μm，Rz值测量精度5%

2.平面度偏差：测量范围50μm/m，分辨率0.05μm

3.曲率半径误差：检测精度0.5%，适用半径50-5000mm

4.反射率均匀性：波长范围400-1100nm，灵敏度0.5%

5.微观划痕检测：可识别宽度≥2μm的线性缺陷

检测范围

1.光学玻璃元件：包括透镜、棱镜、窗口片等透射/反射器件

2.金属抛光表面：不锈钢镜面板、铝合金反光罩等工业部件

3.半导体晶圆：硅片表面平整度与纳米级粗糙度检测

4.精密模具：注塑模具型腔表面光洁度评估

5.航天器热控涂层：多层复合材料的反射特性分析

检测方法

ASTME430-17《表面反射率标准测试方法》

ISO10110-5:2015《光学元件面形公差规范》

GB/T1185-2006《光学零件表面疵病》

GB/T29505-2013《硅片表面粗糙度测量方法》

ISO14952-1:2003《表面粗糙度比较样块校准规范》

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm激光源，PV值测量精度λ/100

2.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：Z轴分辨率0.8nm，最大扫描长度120mm

3.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：20倍物镜NA0.4，横向分辨率0.55μm

4.MitutoyoSURFTESTSJ-410粗糙度仪：16μm量程，评估长度0.25-12.5mm

5.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：12000放大倍率，Z轴重复性1nm

6.KeyenceVR-5000三维形貌仪：700万像素CMOS传感器，扫描速度10s/次

7.JenoptikWaveline干涉仪：多波长相位测量技术（405/532/635nm）

8.PanasonicHG-C1050激光位移传感器：0.05%线性精度，采样频率392kHz

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"镜象法检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。