检测项目
1.表面粗糙度：Ra值范围0.1-1.6μm，Rz值测量精度5%
2.平面度偏差：测量范围50μm/m，分辨率0.05μm
3.曲率半径误差：检测精度0.5%，适用半径50-5000mm
4.反射率均匀性：波长范围400-1100nm，灵敏度0.5%
5.微观划痕检测：可识别宽度≥2μm的线性缺陷
检测范围
1.光学玻璃元件：包括透镜、棱镜、窗口片等透射/反射器件
2.金属抛光表面：不锈钢镜面板、铝合金反光罩等工业部件
3.半导体晶圆：硅片表面平整度与纳米级粗糙度检测
4.精密模具：注塑模具型腔表面光洁度评估
5.航天器热控涂层：多层复合材料的反射特性分析
检测方法
ASTME430-17《表面反射率标准测试方法》
ISO10110-5:2015《光学元件面形公差规范》
GB/T1185-2006《光学零件表面疵病》
GB/T29505-2013《硅片表面粗糙度测量方法》
ISO14952-1:2003《表面粗糙度比较样块校准规范》
检测设备
1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm激光源，PV值测量精度λ/100
2.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：Z轴分辨率0.8nm，最大扫描长度120mm
3.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：20倍物镜NA0.4，横向分辨率0.55μm
4.MitutoyoSURFTESTSJ-410粗糙度仪：16μm量程，评估长度0.25-12.5mm
5.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：12000放大倍率，Z轴重复性1nm
6.KeyenceVR-5000三维形貌仪：700万像素CMOS传感器，扫描速度10s/次
7.JenoptikWaveline干涉仪：多波长相位测量技术（405/532/635nm）
8.PanasonicHG-C1050激光位移传感器：0.05%线性精度，采样频率392kHz