检测项目

1.线宽精度：测量交叉线宽度偏差值（0.02mm）

2.交叉角度偏差：计算实际角度与理论值的偏离度（0.1）

3.边缘粗糙度：评估线条边缘Ra值（0.05-1.6μm）

4.材料厚度均匀性：测定交叉区域厚度变化量（5μm）

5.缺陷密度统计：记录单位面积内断点/毛刺数量（≤3个/cm）

检测范围

1.金属薄膜电路板（FPC）的蚀刻线路

2.高分子材料注塑成型的精密网格结构

3.电子元件封装基板的导电银浆图案

4.光学玻璃分划板的刻线系统

5.碳纤维复合材料的编织层定位标记

检测方法

ASTMF152-2018《金属薄板表面线纹测量标准》

ISO1101:2017《产品几何技术规范(GPS)几何公差》

GB/T1958-2017《产品几何量技术规范(GPS)形状和位置公差》

ISO14978:2018《几何产品规范(GPS)测量设备通用要求》

GB/T6062-2009《产品几何技术规范表面结构轮廓法》

检测设备

1.KeyenceIM-8000系列高精度影像测量仪（分辨率0.1μm）

2.MitutoyoQuickVisionPro434三坐标测量机（重复精度1μm）

3.OlympusSTM7工业测量显微镜（放大倍率5000X）

4.ZeissO-INSPECT322复合式测量系统（带激光扫描模块）

5.HexagonGlobalS07.10.08蓝光三维扫描仪（点距5μm）

6.NikonNEXIVVMZ-S6520视频测量系统（双远心镜头）

7.OGPSmartScopeZIP250多传感器测量仪（带光纤测头）

8.BrukerContourGT-X3白光干涉仪（垂直分辨率0.1nm）

9.HitachiTM4000Plus桌面电镜（背散射电子成像）

10.RenishawREVO五轴测量系统（动态精度0.5μm）