检测项目
1.增益特性:测试频率范围1-40GHz内功率增益(Gp)及增益平坦度(0.5dB)
2.噪声系数:测量1dB压缩点前噪声系数(NF≤3dB@12GHz)
3.驻波比:输入/输出端口VSWR≤1.5:1(DC-18GHz)
4.三阶交调:双音测试(+30dBm输入)IMD3≤-25dBc
5.热阻特性:结温升ΔT≤45℃(环境温度85℃持续工作)
检测范围
1.GaAs基MMIC功率放大器模块
2.GaNHEMT低噪声放大器芯片
3.SiGeBiCMOS宽带集成放大器
4.LTCC封装微波前端模组
5.薄膜混合集成收发组件
检测方法
GB/T11454-2018《微波集成电路放大器测试方法》规定增益/驻波比测试流程
IEC62397-2006《半导体器件微波参数测量》规范噪声系数测试程序
ASTMF1707-18《微波器件热阻测试标准》定义结温测量方法
GJB548B-2005《微电子器件试验方法》明确可靠性试验要求
ISO11452-8:2015《汽车电子部件电磁兼容测试》车载应用专项检测
检测设备
1.KeysightN5245B矢量网络分析仪(10MHz-50GHzS参数测试)
2.R&SFSW67频谱分析仪(最高67GHz频响特性测量)
3.NIPXIe-5632矢量信号发生器(宽带调制信号输出)
4.AgilentN8975A噪声系数分析仪(0.1-26.5GHzNF测试)
5.TektronixPA3000功率分析仪(脉冲功率测量精度1%)
6.ThermoScientificT3Ster动态热阻测试系统(μs级瞬态热分析)
7.ESPECSH-261恒温恒湿箱(-70℃~+180℃环境模拟)
8.CascadeSummit12000探针台(晶圆级参数测试)
9.FlukeTi450红外热像仪(非接触式温度分布监测)
10.OphirVEGA激光功率计(60GHz毫米波功率校准)