检测项目

1.表面电位分布：测量范围10kV，分辨率≤0.1V
2.电场强度梯度：精度2%，量程0-100kV/m
3.介电常数测定：频率范围1kHz-1MHz
4.电荷衰减速率：时间常数τ测量误差≤5%
5.功函数差异：灵敏度10meV

检测范围

1.半导体晶圆及封装材料
2.高分子绝缘薄膜（PET/PI/PTFE）
3.防静电复合材料（碳纤维/金属镀层）
4.压电陶瓷及铁电材料
5.光电功能涂层（ITO/FTO）

检测方法

ASTMF1502-2018静电耗散材料表面电阻测试
ISO3915:2021塑料材料体积电阻率测定
GB/T12703.1-2021纺织品静电性能评价
IEC62631-3-1:2016介质材料介电特性测量
JISK6911:2020橡胶制品表面电位测试

检测设备

1.KelvinProbeFM3（德国KPTechnology）：非接触式表面功函数测量
2.TrekModel347静电计（美国TREK）：20kV高精度电位测试
3.KeysightE4990A阻抗分析仪（美国Keysight）：宽频介电特性分析
4.SimcoFMX-003静电场测试仪（日本Simco）：三维电场分布测绘
5.EST121表面电位计（中国EST）：动态电荷衰减监测
6.Keithley6517B高阻计（美国Tektronix）：10^17Ω超高阻值测量
7.HIOKIIM3590化学阻抗分析仪（日本HIOKI）：多频段介损角测试
8.MonroeElectronicsModel284E（美国Monroe）：瞬态电荷捕捉分析
9.ProstatPRS-801电阻测试系统（美国Prostat）：多点位同步采集
10.AgilentB1505A功率器件分析仪（美国Agilent）：纳米级电位分布成像