检测项目

1.像素几何尺寸精度：边长公差0.5μm（边长50-500μm范围）
2.边缘直线度偏差：最大允许偏差≤0.3μm/100μm
3.正交角度误差：900.05
4.表面平整度：Ra≤0.02μm（测量区域1mm）
5.阵列间距一致性：相邻像素中心距波动≤0.15μm

检测范围

1.LCD/OLED显示面板的RGB子像素阵列
2.半导体光刻掩膜版图形单元
3.MEMS器件的微结构阵列
4.光学编码器的计量光栅
5.AR/VR近眼显示器的微透镜阵列

检测方法

ASTMF1242-2018微结构阵列光学测量规程
ISO13478-2005光电子器件几何参数测试方法
GB/T18910.61-2021液晶显示器件测试方法
GB/T3505-2009产品几何技术规范表面结构轮廓法
ISO25178-604-2013非接触式光学三维测量系统校准规范

检测设备

1.MitutoyoQuickVisionPro454：光学影像测量系统（分辨率0.1μm）
2.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜（Z轴分辨率1nm）
3.KeyenceVHX-7000：4K数字显微系统（5000万像素CMOS）
4.ZygoNewView9000：白光干涉三维形貌仪（垂直分辨率0.1nm）
5.BrukerContourGT-X3：三维光学轮廓仪（横向分辨率0.19μm）
6.NikonMM-400：高精度测量显微镜（物镜NA0.95）
7.HexagonOptivPerformance443：多传感器复合测量机（CCD+激光）
8.JenoptikProgResGT2：科学级CMOS成像系统（动态范围86dB）
9.ZeissAxioImagerM2m：金相显微镜（微分干涉对比功能）
10.VisionEngineeringLynxEVO：体视测量显微镜（5轴自动平台）