检测项目

1.刻线密度精度：测量范围100-2400线/mm，误差≤0.05线/mm
2.衍射效率：波长覆盖200-2500nm，一级衍射效率偏差≤3%
3.波前畸变：PV值≤λ/10（λ=632.8nm）
4.表面粗糙度：Ra≤5nm（测量面积11mm）
5.杂散光强度：信噪比≥10000:1（532nm激光光源）

检测范围

1.金属镀膜反射式光栅（金/铝基底）
2.全息聚合物透射光栅
3.阶梯光栅（刻划角0.5-70）
4.体布拉格光栅（周期10-1000μm）
5.超表面纳米结构衍射器件

检测方法

ASTME903-20《材料光谱漫反射率标准测试方法》
ISO10110-5:2015《光学元件表面缺陷公差》
GB/T13394-2011《光学晶体参数测试方法》
GB/T26331-2010《光学薄膜元件通用技术条件》
ISO14999-4:2015《光学元件干涉测量第4部分：衍射光学元件》

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波前畸变测量精度λ/100
2.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm
3.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：波长精度0.1nm
4.RenishawinViaQontor拉曼光谱仪：空间分辨率0.5μm
5.KeysightCary7000全能型分光光度计：杂散光水平＜0.00005%
6.VeecoNT9800白光干涉仪：最大扫描范围200200μm
7.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：横向分辨率10nm
8.ThorlabsBP209-VIS/M光纤光谱仪：积分时间1ms-65s可调
9.NewportAutoAlign自动准直系统：角度分辨率0.1arcsec
10.HoribaJobinYvonHR800单色仪：光谱分辨率0.02nm