检测项目

1.条纹间距测量：分辨率0.01μm，测量范围0.1-10μm
2.折射率调制深度：精度0.0005，动态范围0.001-0.1
3.波长响应范围：覆盖400-1600nm光谱带宽
4.相位均匀性：PV值≤λ/20@632.8nm
5.表面粗糙度关联分析：Ra≤1nm@5050μm扫描区域

检测范围

1.光学玻璃基板：包括K9、熔融石英等材质
2.聚合物薄膜：PET/PC/PMMA厚度50-500μm
3.激光晶体：Nd:YAG、LiNbO3等单晶材料
4.光纤器件：纤芯直径5-400μm特种光纤
5.半导体晶圆：硅片/砷化镓直径100-300mm

检测方法

ASTMF1048-18光学元件干涉测量规程
ISO10110-7:2017光学元件表面缺陷评价
GB/T1185-2006光学零件表面疵病检验方法
GB/T2831-2009光学零件气泡度测定方法
ISO14997:2012光学表面缺陷定量分析

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm,PV重复性0.1nm
2.BrukerContourGT-X3轮廓仪：垂直分辨率0.01nm
3.OlympusOLS5000激光共焦显微镜：405nm激光,1200万像素
4.MitutoyoMF-U1000测量显微镜：1000物镜,CCD图像分析
5.ThorlabsOCT系统：1300nm中心波长,轴向分辨率7μm
6.KeyenceVK-X3000白光干涉仪：408nm光源,Z轴重复性1nm
7.NikonMM-400测量机：XYZ行程400300200mm
8.RenishawinVia显微拉曼光谱仪：空间分辨率1μm
9.AgilentCary7000分光光度计：光谱范围175-3300nm
10.HamamatsuC12880微型光谱仪：256通道阵列探测器