检测项目
沉积层厚度：测量范围0.1-500μm，精度±2%
成分均匀性：元素含量偏差≤1.5%
表面粗糙度：Ra值检测范围0.01-10μm
结合力测试：临界载荷LC≥30N（划痕法）
耐腐蚀性：盐雾试验时间48-1000小时
热稳定性：高温循环测试（-196℃至800℃）
光学透过率：波长范围200-2500nm，精度±0.5%
检测范围
光学镀膜材料：二氧化硅、氮化硅、氟化镁涂层
半导体器件：GaAs基板、SiC外延层
金属防护涂层：CrN、TiAlN硬质镀层
陶瓷涂层：Al₂O₃、ZrO₂高温防护层
聚合物基复合材料：PTFE/PEEK功能镀层
检测方法
ASTM B748-90：台阶仪法测沉积层厚度
ISO 14707:2015：辉光放电光谱成分分析
GB/T 16533-2020：扫描电镜表面形貌表征
ISO 20502:2016：划痕法结合力测试
GB/T 10125-2021：中性盐雾腐蚀试验
ASTM E903-12：紫外-可见-近红外分光光度法
ISO 11359-2:2021：热机械分析仪热膨胀系数测定
检测设备
Talysurf CCI Lite：非接触式三维表面轮廓仪，分辨率0.1nm
Thermo Scientific K-Alpha：X射线光电子能谱仪，检测限0.1at%
CSM Revetest：自动划痕测试仪，最大载荷100N
Zeiss GeminiSEM 500：场发射扫描电镜，分辨率0.8nm@15kV
PerkinElmer Lambda 1050：紫外-可见-近红外分光光度计
Q-Fog CRH-1100：循环腐蚀盐雾试验箱
NETZSCH DIL 402 Expedis：超高温热膨胀系数测试仪