检测项目

1.面形精度：λ/10RMS（λ=632.8nm）
2.薄膜厚度：0.1-1000nm（误差0.3%）
3.表面粗糙度：Ra0.1-10nm（横向分辨率1μm）
4.折射率均匀性：Δn≤510⁻⁶
5.热膨胀系数：0.05-50ppm/℃（温度范围-50~300℃）

检测范围

1.光学玻璃：透镜、棱镜等透射元件
2.半导体晶圆：硅片、GaAs衬底表面缺陷
3.金属镀膜：Al/TiN多层膜应力分析
4.MEMS器件：微结构台阶高度测量
5.航天涂层：热障涂层厚度均匀性

检测方法

1.ISO10110-5:2015光学元件面形公差评定
2.ASTMF1048-18非接触式薄膜厚度测量
3.GB/T2831-2020光学零件表面疵病检验
4.ISO14952-3:2003表面粗糙度干涉测量法
5.GB/T15972.32-2021光纤几何参数测试规程

检测设备

1.ZygoVerifireMST：4"口径激光干涉仪（λ=632.8nm）
2.BrukerContourGT-X3：白光干涉三维形貌仪（垂直分辨率0.1nm）
3.FilmetricsF20-UV：宽光谱薄膜测厚系统（190-1700nm）
4.TaylorHobsonCCIHD：相干扫描干涉仪（0.01nmRMS重复性）
5.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦干涉显微镜（1200万像素）
6.Keysight5500AFM：原子力显微镜干涉模块（横向分辨率1nm）
7.NikonNEXIVVM-300S：视频测量干涉系统（0.05μm精度）
8.MitutoyoMF-U1000H：超精密轮廓仪（最大行程1000mm）
9.ThorlabsHRS015S：高稳频氦氖激光器（频率稳定性1MHz）
10.SchneiderKreuznachInterferometerSystem：大口径平面检测（Φ600mm）