检测项目

1.边缘对比度阈值：测量范围0.1%-10%，分辨率0.01%
2.灰度梯度变化率：分析梯度ΔG≥5%的突变区域
3.空间分辨率极限：最小可识别宽度0.5μm
4.信噪比阈值：SNR≥30dB的有效信号判定
5.色差容限：ΔE≤1.5的临界判定值

检测范围

1.光学薄膜：包括AR/AG涂层、ITO导电膜等
2.半导体晶圆：硅片切割边缘及光刻胶界面
3.金属镀层：PVD/CVD沉积层过渡区
4.印刷电路板：阻焊层与铜箔结合部
5.生物医学材料：人工晶体表面处理层

检测方法

1.ASTME2544-19：基于显微光度法的反射率对比度测量
2.ISO13660:2001：电子成像系统分辨率测试规范
3.GB/T26141.1-2010：显微图像分析通则
4.ISO19262:2018：光学和光子学-干涉测量法
5.GB/T38256-2019：激光共聚焦显微镜检测方法

检测设备

1.KeyenceVHX-7000数字显微镜：5000万像素CMOS,20nm纵向分辨率
2.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：405nm激光,120nm横向分辨率
3.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：0.1垂直分辨率
4.ZeissAxioImager.M2m金相显微镜：12位CCD,1000:1动态范围
5.NikonNEXIVVM-450影像测量仪：双远心镜头,0.8μm精度
6.MitutoyoQuickVisionPro系列：四轴联动,复合式传感器
7.HitachiSU9000场发射电镜：0.4nm分辨率,STEM模式
8.ThermoFisherScios2DualBeam：FIB-SEM联用系统
9.ShimadzuAIM-9000红外显微镜：128128MCT阵列探测器
10.HoribaLabRAMHREvolution拉曼光谱仪：532/633/785nm多波长激发