检测项目
1.衍射峰半高宽(FWHM):测量范围0.01~5,表征晶格畸变程度
2.晶格常数测定:精度0.0001nm,涵盖立方/六方/四方晶系
3.残余应力分析:测量范围2000MPa,误差≤50MPa
4.择优取向度(TC):计算(002)/(111)等特征峰强度比
5.相含量定量分析:采用Rietveld精修法,检出限0.5wt%
检测范围
1.金属合金:钛合金涡轮叶片、铝合金轮毂等航空航天部件
2.陶瓷材料:氧化锆齿科修复体、氮化硅轴承球等精密元件
3.高分子材料:聚乙烯人工关节、聚酰亚胺薄膜等医疗耗材
4.半导体器件:硅晶圆外延层、GaN薄膜等电子元器件
5.地质样品:页岩矿物组成分析、陨石晶体结构鉴定
检测方法
ASTME915-22《残余应力测定标准试验方法》
ISO22278:2020《精细陶瓷X射线衍射定量相分析》
GB/T30705-2014《微束分析电子背散射衍射分析方法》
GB/T38944-2020《纳米薄膜厚度测量X射线反射法》
JISK0131-2021《X射线衍射通用分析通则》
检测设备
1.RigakuSmartLabSE:9kW旋转阳极衍射仪,配备HyPix-3000二维探测器
2.BrukerD8Discover:微区衍射系统搭配0.5mm准直器
3.PANalyticalEmpyrean:全自动多功能衍射仪支持高温附件(-190~1600℃)
4.ThermoFisherARLEQUINOX3000:便携式XRD系统含Cu/Co双靶位设计
5.ShimadzuXRD-7000:配备应力分析模块及自动样品台
6.MalvernPanalyticalX'Pert3MRD:四圆测角仪支持薄膜反射率测量
7.ProtoLXRD:专用残余应力分析仪含Ψ角自动调节机构
8.InelEquinox100:动态曝光型XRD系统支持实时数据采集
9.XenocsXeuss3.0:小角X射线散射(SAXS)联用系统
10.StresstechXstress3000G2:齿轮/轴承等异形件专用应力分析平台