检测项目

1.轴向分辨率：≤0.5μm（基于ISO25178表面粗糙度标准）
2.重复性误差：0.3%F.S.（满量程）
3.动态响应频率：10kHz~1MHz（依据GB/T16825.1-2018）
4.温度漂移系数：≤0.005%/℃（-20℃~60℃环境测试）
5.线性度偏差：≤0.1%（ASTME2919-22校准规范）

检测范围

1.光学玻璃及晶体材料（熔融石英、氟化钙等）
2.金属精密加工件（航空铝合金、钛合金等）
3.MEMS微机电系统（加速度计、陀螺仪等）
4.半导体晶圆（硅片、GaAs衬底等）
5.高分子薄膜材料（PET、PI柔性基板等）

检测方法

1.ISO12179:2021《几何产品规范(GPS)表面结构:轮廓法标称特性的校准》
2.ASTME2544-11a《使用光学显微镜测量台阶高度的标准试验方法》
3.GB/T6062-2018《产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法接触(触针)式仪器的标称特性》
4.ISO25178-602:2019《非接触式共聚焦显微镜的校准》
5.GB/T34879-2017《微机电系统(MEMS)技术微结构几何量测量方法》

检测设备

1.KeyenceLK-G5000激光位移传感器：分辨率0.01μm，采样频率392kHz
2.ZygoNewView9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，扫描速度15μm/s
3.OlympusOLS5000激光共聚焦显微镜：XYZ轴重复精度10nm
4.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：符合JISB0651-2001标准
5.PolytecPSV-500扫描式激光测振仪：频率范围DC~25MHz
6.BrukerContourGT-X3光学轮廓仪：0.01垂直分辨率
7.ZeissAxioCSM700共聚焦显微镜：支持ISO25178全参数分析
8.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量精度0.5ppm
9.NikonNEXIVVMZ-S6520影像测量系统：配备20倍远心镜头
10.Agilent5530动态校准系统：符合ISO16063-11振动标准