检测项目
1.界面结合能测定:测量范围0.1-10eV,分辨率0.05eV
2.表面应力分布分析:空间分辨率50nm,应力灵敏度0.1MPa
3.电荷转移量表征:精度0.01e⁻/atom
4.分子间作用力映射:力程0.1-100nN
5.热稳定性参数测试:温度范围-196℃~1200℃
检测范围
1.半导体异质结材料(GaN/SiC、GaAs/InP)
2.高分子复合材料(PI/PTFE界面)
3.金属合金层状结构(Al/Cu复合箔)
4.纳米功能涂层(DLC涂层基体结合层)
5.生物医用植入体表面改性层
检测方法
1.ASTME2865-12(2020)表面界面X射线衍射法
2.ISO18114:2021二次离子质谱定量分析
3.GB/T23413-2009纳米压痕界面力学测试
4.ISO22493:2019扫描探针显微术规范
5.GB/T35033-2018热脱附谱分析技术
检测设备
1.ThermoFisherESCALABXi+X射线光电子能谱仪(表面化学态分析)
2.BrukerDimensionIcon原子力显微镜(纳米级形貌与力学成像)
3.HysitronTIPremier纳米压痕仪(动态模量测量)
4.FEIHeliosG4UX聚焦离子束系统(截面样品制备)
5.ShimadzuAIM-9000红外热成像仪(界面热传导分析)
6.ZeissCrossbeam550扫描电镜(三维重构)
7.OxfordInstrumentsSymmetryEBSD系统(晶体取向分析)
8.Keysight5500LSAFM/STM联用系统(原子级电学特性表征)