检测项目
晶体结构分析:晶胞参数(a=5.148Å,c=13.863Å)、晶格畸变度(≤0.05%)
介电性能测试:介电常数(εr=30±2@1MHz)、介电损耗(tanδ≤0.002@1kHz)
压电系数测定:d33=6.5pC/N±5%、机电耦合系数(Kt≥0.17)
光学特性检测:折射率(no=2.286±0.003@633nm)、电光系数(γ33=30.8pm/V)
热学性能评估:居里温度(1140℃±5℃)、热膨胀系数(α=7.5×10-6/K)
检测范围
铌酸锂单晶材料:直径≤6英寸,厚度0.1-1.0mm
集成光波导器件:调制器、滤波器等光学元件
压电薄膜材料:厚度50nm-10μm的LiNbO3镀膜
非线性光学器件:频率转换器、参量振荡器等
声表面波器件:谐振器、延迟线等微波组件
检测方法
X射线衍射分析:ASTM E915-16,GB/T 23413-2009
介电频谱测试:IEC 60250-1969,GB/T 11310-2019
压电参数测量:IEEE Std 176-1987,GB/T 11309-2018
椭偏仪光学检测:ISO 14707-2015,GB/T 26313-2010
热重-差热联用:ISO 11358-1-2014,GB/T 27761-2011
检测设备
X射线衍射仪:Rigaku SmartLab 9kW,配备高分辨率测角器(精度±0.0001°)
阻抗分析仪:Keysight E4990A,频率范围20Hz-120MHz,基本精度0.045%
压电测试系统:aixACCT TF Analyzer 2000,力分辨率0.01mN
光谱椭偏仪:J.A. Woollam M-2000UI,波长范围245-1700nm
热分析系统:Netzsch STA 449 F5 Jupiter,温度范围RT-1550℃,升温速率0.01-50K/min