检测项目
表面粗糙度测量:Ra0.05-10μm范围,Rz/Rmax参数分析
显微硬度测试:HV0.01-HV1.0载荷等级
镀层厚度测定:1-500μm多层结构分析
晶粒度评级:ASTME112标准下G=4-12级
缺陷尺寸量化:裂纹/孔隙测量精度0.1μm
检测范围
金属材料:铝合金阳极氧化层、不锈钢钝化膜
高分子材料:注塑件表面纹理、薄膜涂层
陶瓷制品:电子陶瓷基板、结构陶瓷断面
半导体器件:晶圆切割面、焊点金相组织
精密机械部件:轴承滚道面、齿轮啮合面
检测方法
ASTME3-2018金相试样制备标准
ISO4287-1997表面粗糙度术语定义
GB/T4340.1-2009金属维氏硬度试验
ISO1463-2003金属镀层厚度测量法
GB/T6394-2017金属平均晶粒度测定
检测设备
OlympusDSX1000:6轴观察系统,最大放大倍率7000X
KeyenceVHX-7000:4KCMOS传感器,景深合成功能
LeicaDVM6:LED环形照明系统,3D表面重建模块
NikonEclipseLV150N:微分干涉对比(DIC)组件
ZeissAxioImagerM2m:智能颗粒分析软件模块
HiroxRH-2000:长工作距离物镜(WD=35mm)
MitutoyoQV-302PRO:激光辅助对焦系统
BrukerContourGT-X3:白光干涉测量组件
OlympusOLS5000:激光共聚焦扫描模块
LeicaMC170HD:电动载物台(行程150100mm)