检测项目

1.单位面积颗粒数：测量范围1-10^6个/cm，精度2%

2.粒径分布统计：D10/D50/D90值测定（0.1μm-10mm）

3.表面缺陷密度：可识别≥0.5μm的划痕/凹坑

4.孔隙率测定：分辨率达0.1vol%，适用孔径0.01-500μm

5.纤维计数分析：长度10μm-20mm纤维的定量统计

检测范围

1.半导体晶圆表面污染物

2.制药行业微丸制剂

3.金属增材制造粉体材料

4.生物细胞培养悬浮液

5.高分子薄膜表面缺陷

检测方法

ASTMF51-20洁净室颗粒物计数标准

ISO13322-1:2021静态图像分析法

GB/T19077-2016激光衍射法粒度分析

ISO9276-2:2014粒度分析数据表达规范

GB/T21649.1-2008压汞法孔隙度测定

检测设备

1.MalvernMastersizer3000：激光衍射粒度仪（0.01-3500μm）

2.KeyenceVHX-7000：数字显微镜（500万像素）

3.BeckmanCoulterMultisizer4e：库尔特原理颗粒计数器（0.4-1600μm）

4.ThermoFisherScios2：双束电镜（0.8nm分辨率）

5.MicromeriticsAutoPoreV：压汞仪（3.6nm-950μm孔径）

6.OlympusBX53M：偏光显微镜（1500倍放大）

7.HoribaParticaLA-960：动态光散射仪（0.3nm-10μm）

8.ZeissSigma500：场发射电镜（1nm分辨率）

9.ShimadzuSALD-7500nano：纳米粒度仪（7nm-800μm）

10.Agilent5500AFM：原子力显微镜（原子级形貌分析）