检测项目

1.单位面积颗粒数:测量范围1-10^6个/cm,精度2%

2.粒径分布统计:D10/D50/D90值测定(0.1μm-10mm)

3.表面缺陷密度:可识别≥0.5μm的划痕/凹坑

4.孔隙率测定:分辨率达0.1vol%,适用孔径0.01-500μm

5.纤维计数分析:长度10μm-20mm纤维的定量统计

检测范围

1.半导体晶圆表面污染物

2.制药行业微丸制剂

3.金属增材制造粉体材料

4.生物细胞培养悬浮液

5.高分子薄膜表面缺陷

检测方法

ASTMF51-20洁净室颗粒物计数标准

ISO13322-1:2021静态图像分析法

GB/T19077-2016激光衍射法粒度分析

ISO9276-2:2014粒度分析数据表达规范

GB/T21649.1-2008压汞法孔隙度测定

检测设备

1.MalvernMastersizer3000:激光衍射粒度仪(0.01-3500μm)

2.KeyenceVHX-7000:数字显微镜(500万像素)

3.BeckmanCoulterMultisizer4e:库尔特原理颗粒计数器(0.4-1600μm)

4.ThermoFisherScios2:双束电镜(0.8nm分辨率)

5.MicromeriticsAutoPoreV:压汞仪(3.6nm-950μm孔径)

6.OlympusBX53M:偏光显微镜(1500倍放大)

7.HoribaParticaLA-960:动态光散射仪(0.3nm-10μm)

8.ZeissSigma500:场发射电镜(1nm分辨率)

9.ShimadzuSALD-7500nano:纳米粒度仪(7nm-800μm)

10.Agilent5500AFM:原子力显微镜(原子级形貌分析)