检测项目
1.研磨面表面粗糙度：Ra值范围0.01-0.1μm，Rz值≤0.5μm
2.角度偏差检测：允许公差0.01~0.05（视精度等级）
3.平面度误差：最大允许偏差0.3μm/25mm
4.研磨面波纹度：波长0.08-8mm范围内振幅≤0.05μm
5.材料去除率：单位时间体积去除量≥0.05mm/min
检测范围
1.硬质合金刀具（车刀、铣刀、钻头）的刃口研磨面
2.光学玻璃/晶体材料的棱镜研磨面
3.陶瓷密封环端面45锥形研磨面
4.金属模具镶块V型槽研磨面（角度精度0.02）
5.半导体晶圆背面减薄研磨面（厚度公差1μm）
检测方法
ASTMD7127-2017三维表面轮廓测量标准
ISO4287:1997几何产品规范(GPS)表面结构轮廓法术语定义
GB/T6060.2-2006表面粗糙度比较样块磨削加工表面
ISO12181-1:2011圆柱度测量规范
GB/T11337-2004平面度误差检测规范
检测设备
1.TaylorHobsonFormTalysurfPGI1240：三维轮廓仪，分辨率0.8nm
2.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：测量范围Ra0.01-50μm
3.ZygoNewView9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm
4.HexagonGlobalClassicSR三坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm
5.KeyenceVR-5000三维形状测量仪：最大扫描速度200mm/s
6.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微