检测项目

1.研磨面表面粗糙度：Ra值范围0.01-0.1μm，Rz值≤0.5μm

2.角度偏差检测：允许公差0.01~0.05（视精度等级）

3.平面度误差：最大允许偏差0.3μm/25mm

4.研磨面波纹度：波长0.08-8mm范围内振幅≤0.05μm

5.材料去除率：单位时间体积去除量≥0.05mm/min

检测范围

1.硬质合金刀具（车刀、铣刀、钻头）的刃口研磨面

2.光学玻璃/晶体材料的棱镜研磨面

3.陶瓷密封环端面45锥形研磨面

4.金属模具镶块V型槽研磨面（角度精度0.02）

5.半导体晶圆背面减薄研磨面（厚度公差1μm）

检测方法

ASTMD7127-2017三维表面轮廓测量标准

ISO4287:1997几何产品规范(GPS)表面结构轮廓法术语定义

GB/T6060.2-2006表面粗糙度比较样块磨削加工表面

ISO12181-1:2011圆柱度测量规范

GB/T11337-2004平面度误差检测规范

检测设备

1.TaylorHobsonFormTalysurfPGI1240：三维轮廓仪，分辨率0.8nm

2.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：测量范围Ra0.01-50μm

3.ZygoNewView9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm

4.HexagonGlobalClassicSR三坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm

5.KeyenceVR-5000三维形状测量仪：最大扫描速度200mm/s

6.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与按角度研磨检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。