检测项目
1.线密度测量：100-6000线/mm范围精度0.05%
2.刻线均匀性分析：横向偏差≤0.1μm/m
3.衍射效率测试：波长覆盖400-1100nm波段
4.基底材料折射率：nd值误差0.0002
5.表面粗糙度检测：Ra≤5nm@50X物镜
6.周期误差评定：全视场周期一致性≤0.02%
检测范围
1.光学玻璃基底全息光栅
2.金属薄膜反射式计量光栅
3.光纤布拉格光栅阵列
4.MEMS微纳刻蚀光栅片
5.X射线衍射用晶体光栅
6.激光直写相位光栅元件
检测方法
ASTME903-12光谱反射法测定衍射效率
ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评估
GB/T13811-2009光学晶体参数测试规范
ISO14999-4:2015光学相位测量干涉法
GB/T26189-2010二维光栅计量特性测试方法
ASTMB588-88(2020)阶梯光栅校准规程
检测设备
1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，面形精度λ/200
2.KeyenceLS-9000激光扫描仪：最小步进0.01μm
3.OceanHDX-VIS-NIR光谱仪：分辨率0.05nm@532nm
4.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：Z轴重复性1nm
5.RenishawXL-80激光干涉系统：线性测量精度0.5ppm
6.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm
7.MitutoyoCMM-CRYSTAApex三坐标机：空间精度(1.9+L/250)μm
8.ShimadzuXRD-7000衍射仪：角度重复性0.0001