光栅常量检测

检测项目

1.线密度测量：100-6000线/mm范围精度0.05%

2.刻线均匀性分析：横向偏差≤0.1μm/m

3.衍射效率测试：波长覆盖400-1100nm波段

4.基底材料折射率：nd值误差0.0002

5.表面粗糙度检测：Ra≤5nm@50X物镜

6.周期误差评定：全视场周期一致性≤0.02%

检测范围

1.光学玻璃基底全息光栅

2.金属薄膜反射式计量光栅

3.光纤布拉格光栅阵列

4.MEMS微纳刻蚀光栅片

5.X射线衍射用晶体光栅

6.激光直写相位光栅元件

检测方法

ASTME903-12光谱反射法测定衍射效率

ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评估

GB/T13811-2009光学晶体参数测试规范

ISO14999-4:2015光学相位测量干涉法

GB/T26189-2010二维光栅计量特性测试方法

ASTMB588-88(2020)阶梯光栅校准规程

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，面形精度λ/200

2.KeyenceLS-9000激光扫描仪：最小步进0.01μm

3.OceanHDX-VIS-NIR光谱仪：分辨率0.05nm@532nm

4.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：Z轴重复性1nm

5.RenishawXL-80激光干涉系统：线性测量精度0.5ppm

6.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm

7.MitutoyoCMM-CRYSTAApex三坐标机：空间精度(1.9+L/250)μm

8.ShimadzuXRD-7000衍射仪：角度重复性0.0001

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"光栅常量检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。