检测项目
1.氩气纯度测定:≥99.999%(体积分数),分辨率0.0001%
2.氧含量分析:检出限0.1ppm(v/v),量程0-50ppm
3.氮含量测定:精度0.5ppm(ASTMD1137标准)
4.水分(H2O)检测:露点温度-80℃至+20℃,灵敏度0.1℃
5.总烃(THC)含量:FID检测器定量下限0.05ppm(C1基准)
检测范围
1.工业级液态氩储罐(纯度99.99%-99.999%)
2.电子行业用高纯氩气(半导体制造保护气)
3.医用氩气混合气体(手术激光器载气)
4.科研用超纯氩(质谱仪载气/核反应堆冷却剂)
5.金属加工保护气(TIG焊接用氩气系统)
检测方法
1.ASTMD1137-11(2020):气相色谱法测定稀有气体杂质
2.ISO6145-7:2018:动态稀释法校准痕量组分
3.GB/T4842-2017:高纯氩中杂质含量的测定方法
4.GB/T5832.3-2011:电解法测定微量水分
5.ASTMF1115-95(2021):ICP-MS法测定金属离子杂质
检测设备
1.Agilent7890B气相色谱仪:配备TCD/FID双检测器系统
2.MettlerToledoC30卡尔费休水分仪:分辨率0.1μgH2O
3.AMETEKSADPmini-II露点仪:量程-100℃~+20℃DP
4.ThermoScientificiCAP7400ICP-OES:金属杂质ppb级定量
5.INFICONHAPSITEER便携式气质联用仪:现场THC快速筛查
6.SIEMENSULTRAMAT23红外分析仪:O2/N2多组分同步检测
7.VICIValco气体采样阀:耐压10MPa高压进样系统
8.Environics4000系列气体稀释仪:动态稀释比10000:1
9.EdwardsXDS35i涡旋分子泵:维持10-7mbar真空环境
10.BronkhorstEL-FLOWSelect质量流量计:精度0.5%RD+0.1%FS