检测项目

脉冲宽度：5-50 ps，分辨率≤0.5 ps

单脉冲能量：0.1-100 μJ，波动率≤±2%

光束质量因子M²：1.0-1.5，测量误差≤3%

时间抖动：≤200 fs RMS（重复频率1 kHz-100 MHz）

空间光强分布：均匀性≥95%，扫描精度±1 μm

检测范围

半导体材料：GaN、SiC晶圆表面改性层

光学薄膜：增透膜、高反膜的烧蚀阈值

金属材料：铜、钛合金微结构加工缺陷

高分子材料：聚酰亚胺薄膜碳化深度

生物组织：角膜切削面粗糙度（Ra≤0.1 μm）

检测方法

ASTM E284：激光光束宽度与发散角测定

ISO 13694：光学激光系统功率密度分布测试

GB/T 15175：固体激光器主要参数测试方法

ISO 11145：激光器术语和符号规范

GB/T 31359：激光加工设备安全防护要求

检测设备

激光功率计：Ophir Spiricon SP928，量程1nW-30W，波长190-11,000 nm

自相关仪：APE PulseCheck 150，脉宽测量范围5 fs-10 ps

光束分析仪：CinCam CMOS-1200，分辨率1280×1024，帧率120 fps

高速示波器：Keysight DSAZ634A，带宽63 GHz，采样率160 GSa/s

光谱仪：Ocean Insight HR4000，分辨率0.1 nm（FWHM@532 nm）