检测项目
平面度误差（0.01-0.5mm/m²）
表面波纹度（波长0.1-10mm，幅值0.1-50μm）
局部凹陷高度（检测精度±0.5μm）
曲率半径偏差（测量范围R50-R5000mm）
平行度公差（轴向偏差≤0.02mm/300mm）
检测范围
金属板材：不锈钢冷轧板、铝合金轧制板
聚合物薄膜：PET光学膜、锂电池隔膜
电子显示面板：LCD基板玻璃、OLED柔性衬底
陶瓷基板：氮化铝散热基板、氧化锆结构件
复合材料结构件：碳纤维预浸料层压板、金属蜂窝芯材
检测方法
激光干涉法：ASTM E1127、GB/T 29557
白光共聚焦法：ISO 25178、GB/T 33523
接触式探针扫描：ISO 12781、GB/T 11337
数字图像相关法：ASTM E3039、GB/T 38897
光学投影比对法：ISO 12181、GB/T 24632
检测设备
Taylor Hobson Form Talysurf i1200：接触式表面轮廓仪，分辨率0.8nm
Mitutoyo SJ-410：非接触式激光扫描仪，测量速度500mm/s
Zygo NewView 9000：白光干涉三维形貌仪，垂直分辨率0.1nm
Hexagon Global Silver：桥式三坐标测量机，空间精度1.5+L/300μm
Keyence VR-5000：三维光学扫描系统，单帧测量时间0.3s