产生真空检测

检测项目

1.真空度测量：覆盖110⁻⁰Pa至标准大气压范围的绝对压力测试

2.泄漏率检测：采用氦质谱法测定≤110⁻Pam/s的系统漏率

3.放气速率分析：测量材料在10⁻⁶Pa环境下的总质量损失(TML)≤1.0%

4.残余气体分析：四极杆质谱仪扫描1-300amu范围内的气体成分

5.密封强度验证：模拟10⁻⁴Pa至10⁵Pa交变压力下的循环测试

检测范围

1.半导体器件：晶圆封装腔体、MEMS传感器真空封装结构

2.航天设备：卫星推进剂贮箱、航天器热防护系统

3.医疗器材：CT球管组件、植入式医疗器械密封性

4.光学仪器：高能激光器谐振腔、空间望远镜镜组

5.工业装置：真空镀膜设备腔体、粒子加速器真空管道

检测方法

ASTME595-22：材料在真空环境中的总质量损失与挥发物测试方法

ISO14644-1:2015：洁净室及相关受控环境粒子浓度分级标准

GB/T32218-2015：真空技术术语与图形符号国家标准

ASTMF2338-22：包装件真空衰减法泄漏测试标准

GB/T34879-2017：真空计校准规范及测量不确定度评定

检测设备

AgilentB-A电离真空计：测量范围110⁻⁰~110⁻Torr的宽量程压力传感器

INFICONHLD5000氦质谱检漏仪：灵敏度达510⁻Pam/s的泄漏定位系统

PfeifferQMG220M四极杆质谱仪：分辨率0.5amu的残余气体分析装置

EdwardsSTP-450分子泵组：抽速450L/s的涡轮分子泵真空机组

LeyboldLEO420热传导真空计：10⁻⁴~1000mbar量程的粗低真空测量仪

Varian979系列电离规：用于高精度压力测量的B-A型规管组件

UlvacG-Tran气体透过率测试仪：薄膜材料渗透率测量精度0.01cm/mday

KurtJ.LeskerAJAOrion8溅射系统：集成RGA的工艺过程监控镀膜设备

MKS925型电容薄膜规：0.001~1000Torr量程的高稳定性压力传感器

ThermoScientificPrimaPRO质谱仪：实时监测真空系统的气体分压变化

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"产生真空检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。