检测项目
1.粒子能量分布范围:测量1MeV至10GeV能区带电粒子的初始动能偏差(0.5%)
2.平均射程测定:记录α粒子在铝中的典型射程(16.80.3mg/cm)及质子在水中的Bragg峰位置(2605MeV)
3.射程离散度分析:计算重离子在硅材料中的纵向离散(σ≤3%)和横向扩散(θ<0.5)
4.阻止本领测试:测定电子在铅中的线性阻止系数(13.9MeVcm/g@100MeV)
5.射程-能量关系曲线:建立碳离子在生物组织中的连续能量沉积模型(E=50-400MeV/u)
检测范围
1.半导体材料:硅晶圆(300-450μm)、砷化镓基板(100-200μm)
2.金属合金:航空级铝合金(6061-T6)、核级锆合金(Zr-4)
3.聚合物薄膜:聚酰亚胺(KaptonHN)、聚乙烯(PE1000)
4.生物等效材料:肌肉组织模拟物(ICRU-44)、骨密度等效树脂
5.辐射屏蔽材料:含硼聚乙烯板(5%B4C)、钨镍合金(W90Ni10)
检测方法
ASTME521-16:采用带电粒子辐照法测定位移损伤剂量
ISO4037-3:2019:X/γ参考辐射场中的剂量当量测量
GB/T14055.1-2021:中子参考辐射场建立与表征规范
IEC60749-39:2021:半导体器件重离子单粒子效应测试
GB/T12162.3-2021:X射线防护材料衰减性能测试
检测设备
1.Pelletron5SDH-2型串列静电加速器:提供0.5-10MeV质子束流
2.ORTECGEM-C5060高纯锗探测器:能量分辨率≤1.8keV@1.33MeV
3.CAENDT5781数字化能谱仪:支持4096道脉冲高度分析
4.HamamatsuC12137飞行时间探测器:时间分辨率≤200ps
5.PTWPeakfinderX射线能谱仪:测量范围10keV至300keV
6.BrukerD8ADVANCEXRD系统:分析辐照诱导晶格畸变
7.VarianClinaciX直线加速器:产生6-20MeV电子束
8.FLUKA蒙特卡罗模拟平台:计算三维剂量分布
9.OxfordDanfysik离子注入机:束流强度0.1-100μA可调
10.Keithley2450源表系统:实时监测样品电学特性变化