检测项目
元素成分分析（波长范围：190-900nm，检出限：0.1-10ppm）
晶体结构测定（晶格常数精度：±0.001Å，峰位偏差≤0.02°）
表面元素分布（横向分辨率：1μm，深度分辨率：5nm）
化学键态分析（能量分辨率：0.1eV，检测限：原子浓度≥0.5%）
杂质含量检测（动态范围：10-6-103ppm，相对标准偏差≤2%）
检测范围
金属材料：钢铁、铝合金、钛合金、铜基复合材料
半导体材料：硅晶圆、砷化镓、氮化镓、碳化硅衬底
化学试剂：高纯酸类、有机溶剂、催化剂前驱体
环境样品：土壤重金属、水质污染物、大气颗粒物
生物材料：医用植入物、药物晶体、蛋白质复合物
检测方法
原子发射光谱法（ASTM E1479，GB/T 20975.25）
X射线荧光光谱法（ISO 3497，GB/T 16597）
拉曼光谱法（ASTM E1840，GB/T 36065）
X射线衍射法（ISO 20203，GB/T 8362）
光电子能谱法（ISO 14706，GB/T 29558）
检测设备
电感耦合等离子体发射光谱仪（Thermo Fisher iCAP 7400，元素定量分析，波长范围166-847nm）
微区X射线荧光光谱仪（Bruker M4 TORNADO，元素面分布分析，最小束斑5μm）
多晶X射线衍射仪（Rigaku SmartLab，晶体结构解析，角度重复性±0.0001°）
全自动拉曼光谱系统（Renishaw inVia Qontor，化学键态检测，空间分辨率0.5μm）
高分辨电子能量损失谱仪（Gatan Enfina-ER，表面元素分析，能量分辨率＜0.5meV）